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氩离子束刻蚀制作大面阵微透镜阵列 被引量:2
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作者 张新宇 易新建 +1 位作者 何苗 赵兴荣 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1998年第A02期10-12,共3页
对制作大面阵微透镜阵列的氩离子束刻蚀技术进行了讨论和分析.实验结果表明,衬底材料不同时,制作表面形貌良好并具有预定参数指标要求的微透镜阵列的工艺条件有明显的差异,给出了在几种衬底材料上刻蚀制作面阵微透镜阵列的离子束刻... 对制作大面阵微透镜阵列的氩离子束刻蚀技术进行了讨论和分析.实验结果表明,衬底材料不同时,制作表面形貌良好并具有预定参数指标要求的微透镜阵列的工艺条件有明显的差异,给出了在几种衬底材料上刻蚀制作面阵微透镜阵列的离子束刻蚀速率与离子束能量之间相互关系的实测结果. 展开更多
关键词 离子束刻蚀 面阵微透镜 透镜 制备
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面阵折射微透镜与红外焦平面结构
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作者 张新宇 汤庆乐 +1 位作者 张智 易新建 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 2000年第7期1-3,共3页
分析了利用面阵凸折射微透镜来增大红外凝视焦平面成像器件的填充系数 ,进而提高信噪比以改善器件光电响应特性的物理机制 ,讨论了引入凸折射微透镜阵列对红外焦平面器件的空间分辨率、探测率D
关键词 红外焦平结构 折射透镜 空间分辨率
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用于自适应红外焦平面探测器的液晶微透镜阵列
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作者 吴立丰 喻迪 +1 位作者 张新宇 张天序 《微细加工技术》 EI 2008年第3期60-64,共5页
主要讨论了面阵电控液晶微透镜在设计、制作和测试等方面的若干关键性问题,主要包括:(一)进行了液晶结构电极间的电场分布仿真;(二)通过标准微电子工艺制作了原理性器件;(三)采用高斯激光束照射液晶结构,在改变驱动电压的情形下获得了... 主要讨论了面阵电控液晶微透镜在设计、制作和测试等方面的若干关键性问题,主要包括:(一)进行了液晶结构电极间的电场分布仿真;(二)通过标准微电子工艺制作了原理性器件;(三)采用高斯激光束照射液晶结构,在改变驱动电压的情形下获得了所需要的电控光学干涉性能。所制作的阵列液晶微透镜具有制作工艺简单、器件紧凑、灵巧、功耗低、操作方便、易于匹配耦合与集成等特点。分析了将所发展的液晶微透镜技术用于改善和增强红外焦平面探测结构的光电性能等方面的问题。 展开更多
关键词 液晶透镜 红外焦平 自适应成像探测
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A laser beam shaper for homogeneous rectangular illumination based on freeform micro lens array 被引量:3
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作者 陈恩果 黄佳敏 +1 位作者 郭太良 吴仍茂 《Optoelectronics Letters》 EI 2016年第4期253-256,共4页
An effective design method of freeform micro lens array is presented for shaping varied laser beams into prescribed rectangular illumination. The variable separation mapping is applied to design concave freeform surfa... An effective design method of freeform micro lens array is presented for shaping varied laser beams into prescribed rectangular illumination. The variable separation mapping is applied to design concave freeform surfaces for constructing a freeform lens array. Several dedicated examples show that the designed freeform optical lens array can achieve a prescribed rectangular illumination pattern, especially without considering the initial states of incident laser beams. Both high collection efficiency and good spatial uniformity can be available simultaneously. Tolerance analysis is also performed to demonstrate that this optical device can well avoid fabricating difficulty in actual applications. 展开更多
关键词 Fits and tolerances Lenses MICROLENSES
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