TX1800磁控溅射镀膜机冷却系统的改进

本文以北京天瑞星公司生产的大型TX1800商用磁控溅射镀膜机为例,简要分析了此磁控溅射镀膜机中靶的结构及配套冷却系统,引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却。在此基础上,提出了一种全新的思路,对冷却系统进行了重新设计。