1
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反应溅射制备AlN薄膜靶中毒机制的研究 |
佟洪波
柳青
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《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2011 |
19
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2
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反应溅射制备TiN薄膜的靶中毒模型研究 |
王敬义
杨剑辉
胡慧娟
陈忠财
张丽娜
李振香
王宇
王颖
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《微细加工技术》
EI
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1997 |
2
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3
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溅射法制备TiO2薄膜过程中靶中毒现象的消除及样品表征 |
王秩伟
龚恒翔
李雪
谌家军
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《纳米科技》
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2007 |
1
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4
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一种防止微波反应溅射台靶中毒的金属靶装置 |
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《现代化工》
CAS
CSCD
北大核心
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2011 |
0 |
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5
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从粒子输运研究靶的溅射与中毒 |
王敬义
陶甫廷
何笑明
尹盛
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《广西工学院学报》
CAS
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2001 |
0 |
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6
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靶无中毒判据的探讨 |
王敬义
何笑明
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《薄膜科学与技术》
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1992 |
0 |
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7
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靶面化合物覆盖度的计算方法研究 |
陶甫廷
王敬义
何笑明
王宇
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《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2003 |
3
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8
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反应磁控溅射的进展 |
茅昕辉
陈国平
蔡炳初
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《真空》
CAS
北大核心
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2001 |
29
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9
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反应溅射 Ge_XC_(1-X) 薄膜的沉积速率 |
刘正堂
朱景芝
宋建权
郑修麟
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《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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1998 |
1
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