离子束刻蚀过程中的二次作用——溅出靶原子的重新淀积

离子束刻蚀是近年来发展起来的微细加工工艺。由于它的超精细加工能力等特点,已在微电子技术、光子技术,表面科学、应用声学、材料科学和真空技术等领域中得到广泛的应用。本文采用的束流密度为0.5(mA·cm^(-2)),能量分别为600eV 和1100eV 垂直入射的氩离子束对半导体单晶硅片(111)面上宽度分别为200、80,30、10、8(μm)的沟槽进行刻蚀,用扫描电子显微镜拍摄记录不同时刻的沟槽台阶形貌。考虑到溅出的靶原子在空间的各种不同分布,建立了重新淀积理论,并对实验结果作了完满的解释。

低能氘分子团(d_3^+)与固体靶原子相互作用过程中的团簇效应研究

通过对三个氘原子组成的氘分子团与三个分立的氘原子在轰击固体靶原子时所激发的Ｘ射线产额的差别的研究，进而揭示氘分子团在以库仑激发方式与靶原子相互作用中所体现出的团簇优势。实验结果显示，在１０－１００ｋｅＶ／ｄ能区，每个分子团中的氘核所激发的Ｘ射线产额平均为相同能量的普通氘核所激发的Ｘ射线产额的２．５倍。而且该比值具有较很弱的能量相关性。基于原子库仑相互作用规律对实验现象做了初步解释和简要估算，提出了分子团与靶原子作用模型。

利用质子能损检测气体靶区有效靶原子密度的实验研究

准确测量气态靶区的有效靶原子密度能够提升离子与气体和离子与等离子体靶相互作用实验结果的精度和对物理过程的认识.实验中利用离子加速器引出的100 ke V质子束穿过一定长度的氢气靶,对质子的剩余能量进行了精确测量,获得了在气体靶内的质子能损数据,结合已有的能损研究结果,重新标定了气体靶区内的有效靶原子密度.分别比较了能损、电离型真空计IonIVac ITR 90和薄膜电容型真空计Varian CDG-500的实验测量结果,对比了修正后的电离型真空计有效气压曲线,结果发现质子束能损的测量方式具有原位、高准确性、在线监测等突出优势,为诊断气态靶有效原子密度提供了新的方法.

单电荷离子He^+与靶原子Na碰撞中电子俘获激发过程

一、引言 最近,Aumayr等人在2-20keV能量范围内研究了He^+与Na碰撞过程,给出了单电子俘获截面和NaID_(1,2)的发射截面。Nagata等人和DuBois也分别在实验上对单电子俘获过程进行了研究。Mo’和Riera以及Shingal等人在理论上研究了He^+-Na,He^(2+)-Na碰撞激发过程。

卢瑟福背散射分析

对卢瑟福背散射分析的基本原理作了概要的介绍。论述了背散射分析的最佳实验条件、质量分辨率和分析灵敏度。

强激光场中Li^(3+)与H碰撞的电荷转移截面

本文利用含电荷转移因子的两态展开方法，考虑激光场对入射粒子及靶原子的影响（修饰效应），计算了Ｌｉ３＋＋Ｈ（１ｓ）→Ｌｉ２＋（１ｓ）＋Ｈ＋过程的电荷转移截面，并与不存在激光场时的计算结果进行了比较．

反物质的存在及反氢的制造

本文简述了人类寻找反物质的历程；目前产生反氢原子的方法及利用反物质的美好前景．

Ar的类氦和类锂离子与Mo表面相互作用过程中的x射线发射

在兰州重离子加速器国家实验室电子回旋共振离子源上用Si(Li)探测器观测到了不同动能的Ar15+和Ar16+离子与Mo表面相互作用过程产生的x射线.在不同动能的Ar16+与Mo表面作用过程中不仅能观测到Ar的K层x射线而且能观测到Mo的L层x射线.在不同动能的Ar15+入射下只能观测到Mo的L层x射线.实验结果表明,Ar的K层x射线的产额与入射离子的动能、作用过程中形成的空心原子携带的势能以及入射离子和靶原子x射线的竞争等有关,Mo的L层x射线随入射离子动能的增加而增加.