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题名烧结温度对钛铝靶材性能的影响
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作者
李心然
居炎鹏
赵泽良
王永超
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机构
河南东微电子材料有限公司
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出处
《有色金属加工》
CAS
2024年第3期17-21,共5页
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文摘
文章采用热等静压工艺制备钛铝合金靶材(Ti∶Al=1∶1,at.%),研究烧结温度(1150~1350℃)对钛铝靶材性能的影响。结果表明,在保温时间均为2 h,保压压力均为130 MPa时,当烧结温度为1250℃时所制备的钛铝合金靶材综合性能最好,靶材的致密度为99.72%,晶粒尺寸为78.70μm,维氏硬度为399.7HV,Ti元素和Al元素均匀分布。通过晶粒生长动力学方程计算出钛铝靶材的晶粒长大激活能为76.4 KJ/mol。
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关键词
钛铝合金靶材
热等静压工艺
烧结温度
靶材性能
激活能
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Keywords
TiAl alloy target
hot isostatic pressing process
sintering temperature
target properties
activation energy
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分类号
TG146.23
[金属学及工艺—金属材料]
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题名球料比对钨掺杂磷酸锂靶材性能的影响
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作者
彭伟
朱佐祥
皮陈炳
蔡雪贤
尚福亮
杨海涛
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机构
深圳大学材料学院
深圳市特种功能材料重点实验室
深圳陶瓷制备先进技术工程实验室
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出处
《中国钨业》
CAS
北大核心
2016年第2期53-57,共5页
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基金
深圳市科技研发资金基础研究计划资助项目(JCYJ20140418181958489)
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文摘
采用常压烧结法制备W掺杂Li_3PO_4陶瓷靶材,通过改变WC磨球与Li_3PO_4粉末原料质量比大小,确定W掺杂Li_3PO_4陶瓷靶材的最佳制备工艺。通过XRD测定靶材物相结构,SEM观察靶材的断面形貌,万能实验机测量靶材的抗弯强度,维氏显微硬度仪测量靶材的维氏硬度,阿基米德排水法测量靶材密度等,对W掺杂Li_3PO_4靶材的性能进行了分析表征。研究表明,WC与Li_3PO_4球料比为2∶1的条件下获得的W掺杂Li_3PO_4陶瓷靶材的综合性能最佳,靶材的相对密度达到92.24%,抗弯强度达到38.34 MPa,维氏硬度达233.810,HV0.3。
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关键词
碳化钨
掺杂
Li3PO4靶材性能
球料比
常压烧结法
力学性能测试
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Keywords
tungsten carbide
doping
Li3PO4target properties
ratio of ball material
atmospheric sintering method
mechanical properties test
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分类号
TQ131.11
[化学工程—无机化工]
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题名靶材性能对微粒子喷丸残余应力场的影响
被引量:3
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作者
王超
张海
李冬飞
云浩
徐文苏
赵武
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机构
河南理工大学机械与动力工程学院
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出处
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第12期238-243,共6页
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基金
国家自然科学基金(U1604140)
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文摘
以微粒子喷丸为对象,应用ANSYS/LS-DYNA软件对靶材力学性能参数对喷丸残余应力场的影响进行了研究。首先,提出了虚拟钢材模型,其弹性模量、密度、切线模量恒定,而泊松比和屈服极限可变,并通过有限元仿真对其可行性进行了验证。应用虚拟钢材模型,对靶材泊松比和屈服极限对残余应力场的影响进行了研究。结果表明:泊松比对表面残余压应力(SS)具有较大影响,对最大残余压应力(SM)、最大残余压应力深度(HM)和残余压应力层深(HR)影响很小。屈服极限对残余应力场的4个特征值影响显著。最大残余压应力(SM)随屈服极限(σS)增大按对数关系增大;残余压应力层深(HR)随σS增大呈指数关系减小;最大残余压应力深度(HM)则σS随增大按分段线性关系减小:当σS≤300 MPa时,HM以很大的速率线性减小;当σS>300 MPa时,HM以较小的速率线性减小。泊松比和屈服极限对表面残余压应力(SS)存在耦合影响,且具有如下关系SS=1.500μ-0.387σS 0.842。
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关键词
微粒喷丸
残余应力场
靶材性能.
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Keywords
microshot peening
residual stress field
target properties
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分类号
TG174
[金属学及工艺—金属表面处理]
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