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靶衬间距对脉冲激光沉积薄膜均匀性的影响
被引量:
1
1
作者
王成伟
马军满
陈建彪
《西北师范大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2010年第3期39-43,共5页
以国产脉冲激光沉积设备(PLD-Ⅲ型)在玻璃衬底上沉积Ti O2薄膜为例,研究了PLD法制膜过程中靶衬间距对薄膜均匀性的影响.实验过程中,以Ti O2陶瓷片作为靶材,玻璃作为衬底,保持其他工艺条件(如单脉冲能量、脉冲频率、沉积脉冲总数、衬底...
以国产脉冲激光沉积设备(PLD-Ⅲ型)在玻璃衬底上沉积Ti O2薄膜为例,研究了PLD法制膜过程中靶衬间距对薄膜均匀性的影响.实验过程中,以Ti O2陶瓷片作为靶材,玻璃作为衬底,保持其他工艺条件(如单脉冲能量、脉冲频率、沉积脉冲总数、衬底温度等)不变,专门考察了不同靶衬间距下,Ti O2薄膜在整个衬底台平面区域的沉积分布状况.结果表明,按样品的表观灰度划分,薄膜沉积的相对均匀区可分为2~3个轴对称区域,分别对应不同的沉积速率和厚度;在一定范围内调节靶衬间距(3.00~7.00 cm),可使高速率沉积区逐渐由轴对称的圆环状变为中心大圆斑(直径约2.20 cm).结合PLD沉积原理与靶衬之间的几何关系,分析了导致上述结果的机理.
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关键词
脉冲激光沉积(PLD)
靶衬间距
均匀性
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职称材料
靶衬间距对传输中溅射粒子密度和速度分布的影响
被引量:
2
2
作者
丁学成
傅广生
+5 位作者
翟小林
梁伟华
褚立志
邓泽超
赵亚军
王英龙
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期81-85,共5页
采用蒙特卡罗(Monte Carlo)方法,研究了脉冲激光烧蚀沉积纳米硅(Si)晶薄膜过程中,靶衬间距对传输中溅射粒子密度和速度分布的影响。研究结果表明,在相同时刻,烧蚀粒子和环境气体的交叠区离开靶面的距离随靶衬间距的增加而增大,并且到达...
采用蒙特卡罗(Monte Carlo)方法,研究了脉冲激光烧蚀沉积纳米硅(Si)晶薄膜过程中,靶衬间距对传输中溅射粒子密度和速度分布的影响。研究结果表明,在相同时刻,烧蚀粒子和环境气体的交叠区离开靶面的距离随靶衬间距的增加而增大,并且到达离开表面最大距离的时间随靶衬间距的增大而明显增长。速度分布曲线的峰位和峰值强度均出现了周期性变化的趋势,并且均随着靶衬间距的增大而增长。
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关键词
激光技术
蒙特卡罗模拟
靶衬间距
溅射粒子
密度分布
速度分布
原文传递
掺钛氧化锌透明导电薄膜的制备及特性研究
被引量:
8
3
作者
刘汉法
张化福
+1 位作者
袁玉珍
袁长坤
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期1092-1095,共4页
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上成功地制备出了掺钛氧化锌(ZnO∶Ti)透明导电薄膜。研究了靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响。研究结果表明,靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜的结构和电阻率有显著影响。X射线衍射(XRD)表...
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上成功地制备出了掺钛氧化锌(ZnO∶Ti)透明导电薄膜。研究了靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响。研究结果表明,靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜的结构和电阻率有显著影响。X射线衍射(XRD)表明,ZnO∶Ti薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向。在靶衬间距为4.6 cm时,实验获得的ZnO∶Ti薄膜电阻率具有最小值4.18×10-4Ω.cm。实验制备的ZnO∶Ti薄膜具有良好的附着性能,可见光区平均透过率超过92%。ZnO∶Ti薄膜可以用作薄膜太阳能电池和液晶显示器的透明电极。
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关键词
掺钛氧化锌
透明导电薄膜
磁控溅射
靶衬间距
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职称材料
脉冲激光烧蚀铕粒子速度劈裂的蒙特卡罗模拟
被引量:
1
4
作者
秦爱丽
王英龙
+2 位作者
丁学成
郭瑞强
邓泽超
《河北大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2014年第5期475-478,546,共5页
采用蒙特卡罗方法,模拟了烧蚀铕粒子输运动力学过程,得到了铕粒子电流随时空演化曲线,模拟结果与实验数据符合较好.探讨了环境气体压强对速度劈裂的影响,研究结果表明,环境气体压强对速度劈裂有较明显的影响.当靶-衬间距为60 mm时,铕粒...
采用蒙特卡罗方法,模拟了烧蚀铕粒子输运动力学过程,得到了铕粒子电流随时空演化曲线,模拟结果与实验数据符合较好.探讨了环境气体压强对速度劈裂的影响,研究结果表明,环境气体压强对速度劈裂有较明显的影响.当靶-衬间距为60 mm时,铕粒子速度劈裂的范围为10~220 Pa;当环境气体压强为120 Pa时,速度劈裂现象最明显,烧蚀粒子的质量对速度劈裂的压强范围起决定性作用.
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关键词
速度劈裂
蒙特卡罗模拟
气压
靶
-
衬
间距
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职称材料
题名
靶衬间距对脉冲激光沉积薄膜均匀性的影响
被引量:
1
1
作者
王成伟
马军满
陈建彪
机构
西北师范大学物理与电子工程学院
西北师范大学极端环境原子分子物理实验室
出处
《西北师范大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2010年第3期39-43,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(10974155
10774121)
+2 种基金
甘肃省自然科学基金资助项目(0803RJZA102)
甘肃省高等学校研究生导师科研项目(0801-09)
西北师范大学科技创新工程项目(NWNU-KJCXGC-03-22)
文摘
以国产脉冲激光沉积设备(PLD-Ⅲ型)在玻璃衬底上沉积Ti O2薄膜为例,研究了PLD法制膜过程中靶衬间距对薄膜均匀性的影响.实验过程中,以Ti O2陶瓷片作为靶材,玻璃作为衬底,保持其他工艺条件(如单脉冲能量、脉冲频率、沉积脉冲总数、衬底温度等)不变,专门考察了不同靶衬间距下,Ti O2薄膜在整个衬底台平面区域的沉积分布状况.结果表明,按样品的表观灰度划分,薄膜沉积的相对均匀区可分为2~3个轴对称区域,分别对应不同的沉积速率和厚度;在一定范围内调节靶衬间距(3.00~7.00 cm),可使高速率沉积区逐渐由轴对称的圆环状变为中心大圆斑(直径约2.20 cm).结合PLD沉积原理与靶衬之间的几何关系,分析了导致上述结果的机理.
关键词
脉冲激光沉积(PLD)
靶衬间距
均匀性
Keywords
pulse laser deposition(PLD)
target-to-substrate distance
uniformity
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TN249 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
靶衬间距对传输中溅射粒子密度和速度分布的影响
被引量:
2
2
作者
丁学成
傅广生
翟小林
梁伟华
褚立志
邓泽超
赵亚军
王英龙
机构
河北大学物理科学与技术学院
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期81-85,共5页
基金
973计划前期研究专项(2011CB612305)
国家自然科学基金(10774036)
河北省自然科学基金(E2008000631)资助课题
文摘
采用蒙特卡罗(Monte Carlo)方法,研究了脉冲激光烧蚀沉积纳米硅(Si)晶薄膜过程中,靶衬间距对传输中溅射粒子密度和速度分布的影响。研究结果表明,在相同时刻,烧蚀粒子和环境气体的交叠区离开靶面的距离随靶衬间距的增加而增大,并且到达离开表面最大距离的时间随靶衬间距的增大而明显增长。速度分布曲线的峰位和峰值强度均出现了周期性变化的趋势,并且均随着靶衬间距的增大而增长。
关键词
激光技术
蒙特卡罗模拟
靶衬间距
溅射粒子
密度分布
速度分布
Keywords
laser technique
Monte Carlo simulation
target-to-substrate distance
ablated particles
density distribution
velocity distribution
分类号
TG156.99 [金属学及工艺—热处理]
原文传递
题名
掺钛氧化锌透明导电薄膜的制备及特性研究
被引量:
8
3
作者
刘汉法
张化福
袁玉珍
袁长坤
机构
山东理工大学理学院
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期1092-1095,共4页
基金
山东理工大学功能材料创新团队支持计划项目(2006)
文摘
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上成功地制备出了掺钛氧化锌(ZnO∶Ti)透明导电薄膜。研究了靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响。研究结果表明,靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜的结构和电阻率有显著影响。X射线衍射(XRD)表明,ZnO∶Ti薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向。在靶衬间距为4.6 cm时,实验获得的ZnO∶Ti薄膜电阻率具有最小值4.18×10-4Ω.cm。实验制备的ZnO∶Ti薄膜具有良好的附着性能,可见光区平均透过率超过92%。ZnO∶Ti薄膜可以用作薄膜太阳能电池和液晶显示器的透明电极。
关键词
掺钛氧化锌
透明导电薄膜
磁控溅射
靶衬间距
Keywords
ZnO∶Ti
transparent conducting films
magnetron sputtering
substrate to target distance
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TN304.2 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
脉冲激光烧蚀铕粒子速度劈裂的蒙特卡罗模拟
被引量:
1
4
作者
秦爱丽
王英龙
丁学成
郭瑞强
邓泽超
机构
河北大学物理科学与技术学院
河北工程大学理学院
出处
《河北大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2014年第5期475-478,546,共5页
基金
973计划前期研究专项(2011CB612305)
河北省自然科学基金资助项目(E2012201035
E2011201134)
文摘
采用蒙特卡罗方法,模拟了烧蚀铕粒子输运动力学过程,得到了铕粒子电流随时空演化曲线,模拟结果与实验数据符合较好.探讨了环境气体压强对速度劈裂的影响,研究结果表明,环境气体压强对速度劈裂有较明显的影响.当靶-衬间距为60 mm时,铕粒子速度劈裂的范围为10~220 Pa;当环境气体压强为120 Pa时,速度劈裂现象最明显,烧蚀粒子的质量对速度劈裂的压强范围起决定性作用.
关键词
速度劈裂
蒙特卡罗模拟
气压
靶
-
衬
间距
Keywords
velocity splitting
Monte Carlo simulation
pressure
target-substrate distance
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
靶衬间距对脉冲激光沉积薄膜均匀性的影响
王成伟
马军满
陈建彪
《西北师范大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2010
1
下载PDF
职称材料
2
靶衬间距对传输中溅射粒子密度和速度分布的影响
丁学成
傅广生
翟小林
梁伟华
褚立志
邓泽超
赵亚军
王英龙
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
2
原文传递
3
掺钛氧化锌透明导电薄膜的制备及特性研究
刘汉法
张化福
袁玉珍
袁长坤
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009
8
下载PDF
职称材料
4
脉冲激光烧蚀铕粒子速度劈裂的蒙特卡罗模拟
秦爱丽
王英龙
丁学成
郭瑞强
邓泽超
《河北大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2014
1
下载PDF
职称材料
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