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真空电弧源冷却结构对温度场的影响研究
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作者 刘兴龙 沈佩 +2 位作者 王光文 岳向吉 蔺增 《真空》 CAS 2022年第6期29-33,共5页
真空电弧离子镀技术是工业界使用最为广泛的表面处理技术之一。在电弧离子镀实际应用过程中,所制备涂层的表面大颗粒仍然是困扰高端制造的一大难题,造成这一现象的根本原因是靶材表面局部过热产生的液滴飞溅。减少液滴产生的有效方法有... 真空电弧离子镀技术是工业界使用最为广泛的表面处理技术之一。在电弧离子镀实际应用过程中,所制备涂层的表面大颗粒仍然是困扰高端制造的一大难题,造成这一现象的根本原因是靶材表面局部过热产生的液滴飞溅。减少液滴产生的有效方法有很多,除降低放电功率密度、提高弧斑运动速度等热端控制技术之外,还包括加强靶材的冷却等。本文将新型冷却结构和弧斑运动引入弧源的数值模型,对弧源内部冷却水的流场和靶材表面的温度场进行模拟分析,研究了不同边界条件下弧源温度场的变化规律。本文的研究结果对真空镀膜机设计与工艺开发具有一定的指导作用。 展开更多
关键词 弧源 冷却结构 温度 靶面温度
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国产氧化钒红外探测器响应特性研究
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作者 赫少阳 侯良科 刘品伟 《计量与测试技术》 2021年第11期36-39,共4页
国产氧化钒非制冷红外探测器的响应率、非均匀性、噪声等效温差等响应特性是影响红外成像系统核心指标的重要因素。研究探测器的靶面温度和环境温度对响应特性的影响,可以为探测器的分温区标定、改进非均匀性校正算法、整机热设计等各... 国产氧化钒非制冷红外探测器的响应率、非均匀性、噪声等效温差等响应特性是影响红外成像系统核心指标的重要因素。研究探测器的靶面温度和环境温度对响应特性的影响,可以为探测器的分温区标定、改进非均匀性校正算法、整机热设计等各个方面提供有效的指导,进而为后续提升红外图像质量和整机连续工作稳定性奠定基础。 展开更多
关键词 国产氧化钒红外探测器 响应特性 靶面温度 环境温度
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