模块化的保偏近场扫描光学显微镜结构设计

采用模块化的设计思想,制成了高质量且简单易用的音叉光纤探针模块、模块化的扫描探头、扫描台等,从而研制出高性能,易操作的模块化的保偏近场扫描光学显微镜。