背压法氦质谱检测系统研制

工程应用中需开展背压法氦质谱检测系统展开研究和设计开发,设计内容主要包括氦质谱检漏仪技术参数确定、预抽真空系统设计、真空容器设计以及控制系统设计等,对氦质谱检测系统的仪器灵敏度、系统灵敏度及系统反应时间等性能参数进行了测定,结果表明检测系统具有检测灵敏度高和检测效率高等优点,满足使用要求。