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铜化学机械抛光中复合缓蚀剂的作用机制
被引量:
5
1
作者
龚桦
王宁
+1 位作者
顾忠华
潘国顺
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期6-10,32,共6页
将复合缓蚀剂(苯并三氮唑(BTAH)和十二烷基磺酸钠(SDS))应用到铜的化学机械抛光液中,考察BTAH和SDS对铜表面化学机械抛光的影响,并探讨BTAH和SDS在铜表面的作用机制;分析BTAH和SDS抛光液中络合剂和表面活性剂对铜化学机械抛光性能的影...
将复合缓蚀剂(苯并三氮唑(BTAH)和十二烷基磺酸钠(SDS))应用到铜的化学机械抛光液中,考察BTAH和SDS对铜表面化学机械抛光的影响,并探讨BTAH和SDS在铜表面的作用机制;分析BTAH和SDS抛光液中络合剂和表面活性剂对铜化学机械抛光性能的影响。结果表明:BTAH和SDS在铜表面形成了致密的Cu-BTAH和Cu-SDS保护膜,是优良的铜缓蚀剂。当以磷酸氢二胺(AHP)为络合剂,羟乙基纤维素(HEC)为表面活性剂时,优化后的BTAH和SDS抛光液取得了低至Ra0.2 nm的表面粗糙度,同时发现HEC有降低纳米颗粒残留的作用。
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关键词
复合缓蚀剂
化学机械抛光
纳米
颗粒
残留
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职称材料
基于计算流体动力学与离散元法耦合的磁力泵水沙运动的数值模拟
2
作者
谢汭之
喻黎明
+2 位作者
王田田
杨具瑞
李娜
《湖南农业大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期370-378,共9页
应用计算流体动力学与离散元法耦合的方法,对MP6-R微型磁力泵3种进口流速(0.5、1.0、1.5 m/s)和3种含沙量(0.5%、1.0%、2.0%)水沙运动进行数值模拟。结果表明:当进口流速为0.5 m/s时,磁力泵出口管道与蜗壳衔接段出现回流区,其最大回流...
应用计算流体动力学与离散元法耦合的方法,对MP6-R微型磁力泵3种进口流速(0.5、1.0、1.5 m/s)和3种含沙量(0.5%、1.0%、2.0%)水沙运动进行数值模拟。结果表明:当进口流速为0.5 m/s时,磁力泵出口管道与蜗壳衔接段出现回流区,其最大回流速度为1.07m/s,随着进口流速的加大,回流速度逐渐降低,当进口流速达到1.5m/s时,回流现象消失,水流速度方向稳定指向出口,磁力泵过流性能最佳;叶轮轴面附近存在大量低速沙粒汇聚的滞留区,滞留区沙粒相互碰撞产生初始切速度;当进口流速一定时,改变颗粒体积分数对滞留区沙粒平均速度的影响较小;进口流速低于1.0 m/s时,增加颗粒体积分数会降低颗粒残留比,进口流速高于1 m/s后,颗粒残留比非常接近;当颗粒体积分数一定时,提升进口流速会降低颗粒残留比,增加滞留区沙粒平均速度,进口流速达到1m/s后,颗粒残留比和滞留区沙粒平均速度随进口流速的变化不明显,磁力泵输送性能最佳。结合磁力泵的过流性能、输送性能与叶轮表面的载荷强度,建议磁力泵最佳运行状态下进口流速保持在1.0 m/s以上。
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关键词
磁力泵
水沙运动
进口流速
颗粒
体积分数
滞留区
颗粒残留比
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职称材料
射击残留物颗粒的微观形态观察与元素成分分析
被引量:
6
3
作者
胡浩浪
裴茂清
张亮
《广东公安科技》
2014年第2期35-36,40,共3页
近年来,涉枪案件逐年上升,尤其涉警涉枪案件,社会敏感性较高。利用扫描电镜/X射线能谱仪配GSR自动分析软件对涉枪案件中的射击残留物颗粒进行微观形态观察与元素成分分析,从而为此类案件的侦破、检验和鉴定提供科学、客观的法庭依据。
关键词
射击
残留
物
颗粒
扫描电镜/X射线能谱仪
二次电子图像
背散射电子像
原文传递
采用SEM/EDX方法推断铜锌镀层钢管的种类
被引量:
1
4
作者
高洪涛
祝志伟
+1 位作者
赵春梅
刘力
《中国法医学杂志》
CSCD
2013年第5期382-385,共4页
目的采用扫描电镜/X射线能谱仪(SEM/EDX)法推断铜锌镀层钢管的种类,评价其在推断工具种类认定中的意义。方法用3根铜锌镀层钢管打击滤纸和猪皮后,分别提取残留的金属颗粒各5组,使用扫描电镜/X射线能谱仪颗粒分析方法进行检测,用SPSS 13....
目的采用扫描电镜/X射线能谱仪(SEM/EDX)法推断铜锌镀层钢管的种类,评价其在推断工具种类认定中的意义。方法用3根铜锌镀层钢管打击滤纸和猪皮后,分别提取残留的金属颗粒各5组,使用扫描电镜/X射线能谱仪颗粒分析方法进行检测,用SPSS 13.0软件对所得铜锌颗粒成分数据进行统计学分析。结果通过Cu和Zn元素相对含量的均数±标准差(x—±s),评估铜锌镀层钢管打击滤纸和猪皮后所残留的铜锌元素金属颗粒的稳定性。不同种类钢管残留金属颗粒成分(P<0.05)有显著差异,同一把钢管打击猪皮和滤纸残留金属颗粒(P>0.05)无差异。结论 SEM/EDX颗粒分析方法可以对铜锌镀层钢管进行种类认定。
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关键词
法医损伤学
SEM
EDX
铜锌镀层钢管
残留
金属
颗粒
原文传递
题名
铜化学机械抛光中复合缓蚀剂的作用机制
被引量:
5
1
作者
龚桦
王宁
顾忠华
潘国顺
机构
清华大学摩擦学国家重点实验室
深圳清华大学研究院深圳市微纳制造重点实验室
出处
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第9期6-10,32,共6页
基金
国家重点基础研究发展规划项目(973计划)(2011CB013102)
国家自然科学基金项目(91223202)
科技部国际科技合作计划项目(2011DFA73410)
文摘
将复合缓蚀剂(苯并三氮唑(BTAH)和十二烷基磺酸钠(SDS))应用到铜的化学机械抛光液中,考察BTAH和SDS对铜表面化学机械抛光的影响,并探讨BTAH和SDS在铜表面的作用机制;分析BTAH和SDS抛光液中络合剂和表面活性剂对铜化学机械抛光性能的影响。结果表明:BTAH和SDS在铜表面形成了致密的Cu-BTAH和Cu-SDS保护膜,是优良的铜缓蚀剂。当以磷酸氢二胺(AHP)为络合剂,羟乙基纤维素(HEC)为表面活性剂时,优化后的BTAH和SDS抛光液取得了低至Ra0.2 nm的表面粗糙度,同时发现HEC有降低纳米颗粒残留的作用。
关键词
复合缓蚀剂
化学机械抛光
纳米
颗粒
残留
Keywords
mixed inhibitor
chemical mechanical polishing
nano-sized particle deposition
分类号
TH117 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
基于计算流体动力学与离散元法耦合的磁力泵水沙运动的数值模拟
2
作者
谢汭之
喻黎明
王田田
杨具瑞
李娜
机构
昆明理工大学现代农业工程学院
出处
《湖南农业大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期370-378,共9页
基金
国家自然科学基金项目(51769009)。
文摘
应用计算流体动力学与离散元法耦合的方法,对MP6-R微型磁力泵3种进口流速(0.5、1.0、1.5 m/s)和3种含沙量(0.5%、1.0%、2.0%)水沙运动进行数值模拟。结果表明:当进口流速为0.5 m/s时,磁力泵出口管道与蜗壳衔接段出现回流区,其最大回流速度为1.07m/s,随着进口流速的加大,回流速度逐渐降低,当进口流速达到1.5m/s时,回流现象消失,水流速度方向稳定指向出口,磁力泵过流性能最佳;叶轮轴面附近存在大量低速沙粒汇聚的滞留区,滞留区沙粒相互碰撞产生初始切速度;当进口流速一定时,改变颗粒体积分数对滞留区沙粒平均速度的影响较小;进口流速低于1.0 m/s时,增加颗粒体积分数会降低颗粒残留比,进口流速高于1 m/s后,颗粒残留比非常接近;当颗粒体积分数一定时,提升进口流速会降低颗粒残留比,增加滞留区沙粒平均速度,进口流速达到1m/s后,颗粒残留比和滞留区沙粒平均速度随进口流速的变化不明显,磁力泵输送性能最佳。结合磁力泵的过流性能、输送性能与叶轮表面的载荷强度,建议磁力泵最佳运行状态下进口流速保持在1.0 m/s以上。
关键词
磁力泵
水沙运动
进口流速
颗粒
体积分数
滞留区
颗粒残留比
Keywords
magnetic pump
water-sediment movement
inlet velocity
particle volume fraction
stagnant area
particle residue ratio
分类号
S277.92 [农业科学—农业水土工程]
下载PDF
职称材料
题名
射击残留物颗粒的微观形态观察与元素成分分析
被引量:
6
3
作者
胡浩浪
裴茂清
张亮
机构
广东省公安厅刑事技术中心
出处
《广东公安科技》
2014年第2期35-36,40,共3页
文摘
近年来,涉枪案件逐年上升,尤其涉警涉枪案件,社会敏感性较高。利用扫描电镜/X射线能谱仪配GSR自动分析软件对涉枪案件中的射击残留物颗粒进行微观形态观察与元素成分分析,从而为此类案件的侦破、检验和鉴定提供科学、客观的法庭依据。
关键词
射击
残留
物
颗粒
扫描电镜/X射线能谱仪
二次电子图像
背散射电子像
分类号
D918 [政治法律—法学]
原文传递
题名
采用SEM/EDX方法推断铜锌镀层钢管的种类
被引量:
1
4
作者
高洪涛
祝志伟
赵春梅
刘力
机构
山西医科大学法医学院
克拉玛依市公安局刑科所
北京市公安局法医检验鉴定中心
出处
《中国法医学杂志》
CSCD
2013年第5期382-385,共4页
文摘
目的采用扫描电镜/X射线能谱仪(SEM/EDX)法推断铜锌镀层钢管的种类,评价其在推断工具种类认定中的意义。方法用3根铜锌镀层钢管打击滤纸和猪皮后,分别提取残留的金属颗粒各5组,使用扫描电镜/X射线能谱仪颗粒分析方法进行检测,用SPSS 13.0软件对所得铜锌颗粒成分数据进行统计学分析。结果通过Cu和Zn元素相对含量的均数±标准差(x—±s),评估铜锌镀层钢管打击滤纸和猪皮后所残留的铜锌元素金属颗粒的稳定性。不同种类钢管残留金属颗粒成分(P<0.05)有显著差异,同一把钢管打击猪皮和滤纸残留金属颗粒(P>0.05)无差异。结论 SEM/EDX颗粒分析方法可以对铜锌镀层钢管进行种类认定。
关键词
法医损伤学
SEM
EDX
铜锌镀层钢管
残留
金属
颗粒
Keywords
Forensic pathology
SEM/EDX
Metal particles
Copper-zinc coated steel pipe
分类号
D919 [医药卫生—法医学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
铜化学机械抛光中复合缓蚀剂的作用机制
龚桦
王宁
顾忠华
潘国顺
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2013
5
下载PDF
职称材料
2
基于计算流体动力学与离散元法耦合的磁力泵水沙运动的数值模拟
谢汭之
喻黎明
王田田
杨具瑞
李娜
《湖南农业大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2022
0
下载PDF
职称材料
3
射击残留物颗粒的微观形态观察与元素成分分析
胡浩浪
裴茂清
张亮
《广东公安科技》
2014
6
原文传递
4
采用SEM/EDX方法推断铜锌镀层钢管的种类
高洪涛
祝志伟
赵春梅
刘力
《中国法医学杂志》
CSCD
2013
1
原文传递
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