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题名飞秒激光刻写的超短光纤布拉格光栅及其传感特性
被引量:17
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作者
敬世美
张轩宇
梁居发
陈超
郑钟铭
于永森
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机构
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家重点实验室
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所发光学及应用国家重点实验室
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2017年第4期449-454,共6页
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基金
国家自然科学基金资助项目(No.61505206)
吉林省科技发展计划资助项目(No.20150520089JH)~~
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文摘
为了提高光纤光栅传感器的测量精度及可靠性,实现点式测量,拓宽光纤布拉格光栅(FBG)的应用,本文提出了基于飞秒激光直写扫线技术制备超短FBG。首先,在单模光纤上制备了周期为5.35μm、长度为53.5μm的超短FBG,其温度和应力的灵敏度分别为0.011 nm/℃和1.509 nm/N;然后,用体积分数为4%的氢氟酸对制备超短FBG进行选择性腐蚀,制备出了微通道超短FBG,并研究了它对NaCl溶液的传感特性,其折射率灵敏度为69.11 nm/RIU。结果表明,这种微通道超短FBG具有高重复性、高可靠性、可多参数测量等优点。
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关键词
飞秒激光刻写
超短光纤布拉格光栅
温度
应力
折射率
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Keywords
femtosecond laser writing
ultrashort fiber Bragg grating
temperature
stress
refractive index
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分类号
TN253
[电子电信—物理电子学]
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题名全内反射显微技术探测亚表面缺陷新方法研究
被引量:12
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作者
崔辉
刘世杰
赵元安
杨俊
刘杰
刘文文
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机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
中国科学院大学
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期123-129,共7页
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基金
国家自然科学基金(11104295)
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文摘
亚表面缺陷的检测和去除对于提高光学元件的激光损伤阈值至关重要。结合全内反射显微技术和数字图像处理技术获得光学元件亚表面缺陷信息的新方法,利用显微镜系统的有限焦深,对亚表面缺陷沿深度方向扫描,可以获得不同离焦量下的散射图像,通过数字图像处理技术,建立缺陷散射图像清晰度评价值与离焦量的关系,通过清晰度曲线得到亚表面缺陷的深度位置及深度尺寸。模拟全内反射显微平台的成像过程,讨论微调焦过程中全内反射显微成像的特点。缺陷深度位置及深度尺寸的测量精度主要由载物台精密调焦机构的精度以及显微镜的焦深决定,一般可达微米量级。利用飞秒激光加工技术制备尺寸和位置已知的微结构,使用该方法准确获得了微结构信息,验证了该方法的有效性。
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关键词
测量
亚表面缺陷
全内反射显微法
清晰度评价
微调焦
成像模拟
飞秒刻写
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Keywords
measurement
subsurface damage
total internal reflection microscope
definition evaluation
microfocusing control
imaging simulation~ femtosecond laser micromachining
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
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