馈通效应下微机械陀螺仪标度因数特性分析

微机械陀螺仪可动质量块、衬底和电极间存在复杂的寄生电容,使得陀螺仪的反馈力电极与检测读出电极间存在馈通效应。为研究馈通效应对微机械陀螺仪标度因数特性的影响,首先基于理论模型分析了不同模态频差下,馈通效应对检测回路开环零点分布的影响,进而分析了存在馈通时模态频差对标度因数的影响。其次,建立了存在馈通时的力反馈仿真模型。最后设计了基于分时控制的馈通抑制方案,实验结果显示,无馈通抑制和有缓冲周期分时控制的标度因数最大变化量分别为70.2%和1.3%。仿真与实验结果均表明馈通效应越显著,标度因数随模态频差的变化幅度越大。