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微型电火花装置直接驱动电极丝的研究
1
作者 唐勇军 王振龙 郭钟宁 《广东工业大学学报》 CAS 2007年第4期53-56,共4页
针对微小型电火花加工装置电极夹持困难、辅助加工时间长等问题,提出了直接驱动电极丝的方法,采用超声马达作为电极的驱动器.利用有限元分析方法对超声马达进行模态分析,求解出超声马达的最佳振动模态和驱动频率.对整个系统进行了实验研... 针对微小型电火花加工装置电极夹持困难、辅助加工时间长等问题,提出了直接驱动电极丝的方法,采用超声马达作为电极的驱动器.利用有限元分析方法对超声马达进行模态分析,求解出超声马达的最佳振动模态和驱动频率.对整个系统进行了实验研究,验证了该系统的可行性. 展开更多
关键词 电火花加工 直接驱动电极 微型电火花装置 有限元分析
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基于驱动电极的电容层析成像研究
2
作者 陈卓 《自动化应用》 2019年第11期55-57,共3页
电容层析成像是一种应用广泛的多相流检测技术,针对其中心处成像效果差的问题,提出增加驱动电极的改进方案,研究驱动电极及其激励电压对中心区域成像的影响,并与传统12电极传感器进行比较。仿真结果表明,驱动电极的激励电压存在最优值,... 电容层析成像是一种应用广泛的多相流检测技术,针对其中心处成像效果差的问题,提出增加驱动电极的改进方案,研究驱动电极及其激励电压对中心区域成像的影响,并与传统12电极传感器进行比较。仿真结果表明,驱动电极的激励电压存在最优值,对改善敏感场分布、提高中心区域空间分辨率具有显著作用。 展开更多
关键词 驱动电极 敏感场分布 电容层析成像 激励电压
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超声波直接驱动电极的小型电火花加工装置的设计 被引量:3
3
作者 刘维东 赵万生 +1 位作者 袁松梅 王士民 《航空精密制造技术》 1997年第5期15-17,47,共4页
介绍一种新型电极直接驱动的小型电火花加工装置及驱动控制原理.主要由压电驱动体、电极丝和导向器组成。电极的进给方向由两个压电驱动器的振动方式来决定.该装置具有体积小、重量轻、结构简单、响应速度快等优点。
关键词 电火花加工 压电驱动 电极直接驱动
原文传递
集成隐藏式3维梳齿电极驱动器的低吸合电压CMOS-MEMS微镜阵列 被引量:1
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作者 程正喜 刘亦 +1 位作者 徐鹤靓 康晓旭 《复旦学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期61-68,共8页
微镜阵列芯片是大尺寸画面投影显示系统的主流光学图形产生器。针对德州仪器公司的数字微镜芯片中微镜吸合电压较高的问题,本文采用CMOS后端金属互连层制备隐藏垂直梳齿电极驱动的低吸合电压微镜,在CMOS后端工艺中基本完成MEMS微镜阵列... 微镜阵列芯片是大尺寸画面投影显示系统的主流光学图形产生器。针对德州仪器公司的数字微镜芯片中微镜吸合电压较高的问题,本文采用CMOS后端金属互连层制备隐藏垂直梳齿电极驱动的低吸合电压微镜,在CMOS后端工艺中基本完成MEMS微镜阵列的结构制备,然后在CMOS工艺后附加少量的Post-CMOS工艺。我们采用0.35-μm 2-Poly-4-Metal(2P4M)CMOS工艺设计和制造了2种1×8规模集成了隐藏式梳齿驱动器的静电驱动双稳态微镜阵列,并且片上集成了CMOS驱动电路。微镜尺寸为18μm×18μm,像素间距为20μm,占空比为81.0%。采用有限元仿真软件计算了微镜结构的电力耦合特性。在大气环境下,仿真结果表明:具有TiN/Al/TiN扭臂的微镜A的静态吸合电压为19.25 V,具有TiN/Al/TiN扭臂的微镜B的静态吸合电压为3 V。测试结果表明:微镜A典型的吸合电压为21 V,与仿真结果接近。微镜A和B吸合电压正在逐步实现与CMOS电路工作电压兼容,可以将驱动电路与微镜阵列单片集成,从而为实现工艺和工作电压与CMOS工艺全面兼容的数字微镜阵列奠定了基础。 展开更多
关键词 微镜 吸合电压 垂直3维梳齿电极驱动
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基于CCD电极直接驱动控制的双脉冲发光图像高速曝光技术原理研究
5
作者 江孝国 杨兴林 +5 位作者 杨国君 张小丁 李一丁 李洪 蒋薇 魏涛 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期1-6,共6页
电荷耦合器件(CCD)是一类高性能的光电成像器件,具有成像阵列大、图像质量好的特点。但由于正常工作驱动时序复杂,工作帧频一般较低,无法满足较高成像帧频的要求。针对一种双脉冲发光图像的高速高分辨高质量成像要求,根据CCD信号电荷收... 电荷耦合器件(CCD)是一类高性能的光电成像器件,具有成像阵列大、图像质量好的特点。但由于正常工作驱动时序复杂,工作帧频一般较低,无法满足较高成像帧频的要求。针对一种双脉冲发光图像的高速高分辨高质量成像要求,根据CCD信号电荷收集及转移的电极驱动特性,选择合适的CCD类型,以电荷转移时序为时间分隔界限,设计了一种电极直接进行控制的时序,实现了两个光脉冲图像的分离积分及信号转移、读出等,完成了双脉冲发光图像的等效高帧频曝光的原理验证,在保持CCD原有高成像质量的情况下获得了μs级间隔的两幅图像可分辨的能力,并实现了一种二分幅相机系统。 展开更多
关键词 电荷耦合器件 电极驱动 电荷转移 高帧频成像 双曝光
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椭圆微驱动电火花加工装置中电极的驱动与控制
6
作者 严荣国 薛重德 赵国光 《电加工与模具》 2000年第6期16-18,共3页
在介绍椭圆微驱动电火花加工机理的基础上 ,分析了椭圆微驱动器对驱动电路的要求。为实现电火花电极的微米级步距 ,设计了椭圆微驱动电路 ,并能有效地控制电极的运动方向。
关键词 电火花加工 压电驱动 电极直接驱动 电极控制
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电极直接驱动的小型电火花加工装置的研究现状
7
作者 刘维东 索来春 赵万生 《金属成形工艺》 1997年第4期52-54,共3页
概括了目前典型的电极直接驱动的小型电火花加工装置——椭圆驱动装置、冲击式驱动装置和蠕动式驱动装置的发展现状,介绍了这些装置的结构和工作原理,分析了其存在的不足,提出了改进措施.最后指出了电极直接驱动的小型电火花加工装置的... 概括了目前典型的电极直接驱动的小型电火花加工装置——椭圆驱动装置、冲击式驱动装置和蠕动式驱动装置的发展现状,介绍了这些装置的结构和工作原理,分析了其存在的不足,提出了改进措施.最后指出了电极直接驱动的小型电火花加工装置的发展趋势及其应用前景,并首次提出了电火花加工机器人的新概念. 展开更多
关键词 电火花加工 电极直接驱动 装置
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螺旋电极压电扭转驱动器的设计与有限元分析 被引量:1
8
作者 郭全圆 刘永刚 +1 位作者 曾奥柯 闫鹏飞 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第6期825-830,共6页
该文设计了一种新型叉指型电极(IDE)结构形式的螺旋电极压电扭转驱动器,推导并建立了螺旋电极平面有效电极区域内点的应变理论方程。利用ABAQUS对该理论方程进行验证,并着重研究了电压、径向尺寸、圆盘厚度对该压电驱动器应变的影响。... 该文设计了一种新型叉指型电极(IDE)结构形式的螺旋电极压电扭转驱动器,推导并建立了螺旋电极平面有效电极区域内点的应变理论方程。利用ABAQUS对该理论方程进行验证,并着重研究了电压、径向尺寸、圆盘厚度对该压电驱动器应变的影响。结果表明,螺旋电极压电扭转驱动器能够产生较大的切向应变和径向应变输出;增大电压,减小压电圆盘径向尺寸和压电圆盘厚度,有利于提高驱动器的驱动性能;在螺旋角、压电圆盘径向尺寸和电压一定时,螺旋电极压电扭转驱动器的切向应变达到普通电极型的17.5倍,径向应变是普通电极型的1.6倍。 展开更多
关键词 螺旋电极压电扭转驱动 螺旋电极 切向应变 径向应变 螺旋角
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电极驱动微槽道流动的高电压边界数值模拟
9
作者 王雨尧 张劲柏 《佳木斯大学学报(自然科学版)》 CAS 2018年第4期528-531,共4页
电极驱动的微槽道流动是微流动驱动装置中重要的应用,本文通过基于PoisonNernst-Planck-Navier-Stokes模型对电极驱动的微槽道流动进行数值模拟。通过高精度的谱方法,在流向上使用Fourier级数的Garlerkin方法,法向上使用Chebyshev多项式... 电极驱动的微槽道流动是微流动驱动装置中重要的应用,本文通过基于PoisonNernst-Planck-Navier-Stokes模型对电极驱动的微槽道流动进行数值模拟。通过高精度的谱方法,在流向上使用Fourier级数的Garlerkin方法,法向上使用Chebyshev多项式的Tau方法,对二维微槽道流动进行直接数值模拟,得到了基于PNPNS模型的算法在低电压和高电压边界条件情况下的结果。 展开更多
关键词 电极驱动 微流动 数值模拟
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扇形梳齿驱动式微机械隧道陀螺仪的初步研究 被引量:1
10
作者 王凌云 刘益芳 孙道恒 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期355-359,共5页
设计了一种扇形梳齿驱动式隧道陀螺仪,意在取代现有的平板驱动方式,以此来提高陀螺仪的灵敏度.从扇形梳齿驱动的工作原理出发,推导了该型陀螺仪的运动方程,分析了结构参数与其灵敏度的内在联系.在此基础上,对陀螺仪设计中与陀螺仪性能... 设计了一种扇形梳齿驱动式隧道陀螺仪,意在取代现有的平板驱动方式,以此来提高陀螺仪的灵敏度.从扇形梳齿驱动的工作原理出发,推导了该型陀螺仪的运动方程,分析了结构参数与其灵敏度的内在联系.在此基础上,对陀螺仪设计中与陀螺仪性能相关的机械耦合、静电驱动频率和敏感方向刚度等问题进行了有益的探讨,揭示了静电驱动频率的选择与敏感方向品质因子和驱动方向品质因子大小之间的内在联系,为陀螺仪的尺寸优化设计奠定了理论基础. 展开更多
关键词 微机械陀螺仪 梳齿驱动电极 隧道传感器
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压电驱动技术在电火花加工中的应用 被引量:3
11
作者 袁松梅 赵万生 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第9期1079-1081,共3页
压电驱动技术可实现电极直接驱动进行电火花加工 ,该技术可以广泛地用于航天航空、精密模具、医疗器械等领域中微型器件或异形微小孔的加工。介绍几种典型的压电驱动技术 ,如椭圆式电火化加工技术、基于超声马达的电火化加工技术、蠕动... 压电驱动技术可实现电极直接驱动进行电火花加工 ,该技术可以广泛地用于航天航空、精密模具、医疗器械等领域中微型器件或异形微小孔的加工。介绍几种典型的压电驱动技术 ,如椭圆式电火化加工技术、基于超声马达的电火化加工技术、蠕动式电火花加工技术。为提高电火花加工的效率、缩短加工时间 ,提出在压电驱动技术的基础上进一步在加工电极上附加超声振动 ,为该项新技术的发展提供了启示。 展开更多
关键词 电火花加工 压电驱动 电极直接驱动 驱动
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低压驱动高阻值层液晶透镜 被引量:2
12
作者 林坚普 林朝福 +4 位作者 翁徐阳 张永爱 周雄图 郭太良 严群 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期34-41,共8页
针对传统电极驱动液晶透镜的电场分布在驱动电极边缘的问题,设计了一种高阻值层驱动电极来控制液晶分子偏转的低压驱动和焦距可调的液晶透镜.利用磁控溅射工艺在含镂空孔阵列的面状铝电极基板表面沉积一层掺铝氧化锌透明薄膜,形成高阻... 针对传统电极驱动液晶透镜的电场分布在驱动电极边缘的问题,设计了一种高阻值层驱动电极来控制液晶分子偏转的低压驱动和焦距可调的液晶透镜.利用磁控溅射工艺在含镂空孔阵列的面状铝电极基板表面沉积一层掺铝氧化锌透明薄膜,形成高阻值层驱动电极;利用液晶盒成盒工艺将制备好的驱动电极基板和公共电极基板(氧化铟锡玻璃基板)组装成液晶透镜,研究掺铝氧化锌高阻值层、驱动电压、工作频率对液晶透镜光学性能的影响.实验结果表明,对比传统电极驱动液晶透镜,高阻值层电极驱动液晶透镜在驱动电压2.2Vrms和工作频率130kHz下获得的干涉圆环均匀,聚焦光斑小.同时,在驱动电压1.8~2.8Vrms和工作频率130kHz下所制备的液晶透镜焦距可调范围为4.27~2.88mm. 展开更多
关键词 液晶 低压驱动 高阻值层 驱动电极 可控焦距
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投射式电容触摸屏高精度驱动与检测方法 被引量:5
13
作者 张晋芳 陈后金 张利达 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期763-766,共4页
抗噪声能力是投射式电容触摸屏驱动和检测电路的难点。在研究电容式触摸屏驱动的基础上,提出了一种电容触摸屏高精度驱动与检测方法,通过采用多电极驱动结合IQ正交解调技术,选取合适的驱动矩阵有效地降低感应电极耦合信号的干扰噪声、... 抗噪声能力是投射式电容触摸屏驱动和检测电路的难点。在研究电容式触摸屏驱动的基础上,提出了一种电容触摸屏高精度驱动与检测方法,通过采用多电极驱动结合IQ正交解调技术,选取合适的驱动矩阵有效地降低感应电极耦合信号的干扰噪声、并消除由信号传输路径不同所引入的相位差,获得信噪比高、一致性好的解调数据。实验测试表明,采用该方法可以实现高性能、低成本触摸屏驱动芯片,为用户带来更好的触控体验。 展开更多
关键词 抗噪声技术 集成电路设计 IQ正交解调 电极驱动 投射式电容触摸屏
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PDP数据驱动模块STV7610A及其应用 被引量:3
14
作者 许伟 吴玉广 《国外电子元器件》 2004年第12期49-51,共3页
介绍了专用于平板显示的数据电极驱动芯片STV7610A的结构特点、引脚功能和工作原理 ,给出了STV7610A在PDP显示系统中的应用方法。由于STV7610A能为PDP数据电极提供高压 ,因而具有较好的图像显示效果。
关键词 等离子显示器 高压驱动 数据电极驱动芯片 STV7610A
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双极电极金属图形沉积装置设计及其应用研究
15
作者 丘德立 李冰 韩尚辰 《安徽化工》 CAS 2020年第5期41-45,共5页
金属材料的一维、二维以及三维制造一直是材料加工领域的热点内容,双极电化学加工方法由于其无导线直连、非均匀加工等特点,近年来得到了广泛应用。提出基于双极电化学原理的金属定位沉积方案,用以实现金属图形直接制备。通过制备具有... 金属材料的一维、二维以及三维制造一直是材料加工领域的热点内容,双极电化学加工方法由于其无导线直连、非均匀加工等特点,近年来得到了广泛应用。提出基于双极电化学原理的金属定位沉积方案,用以实现金属图形直接制备。通过制备具有不同形状腔体的双极驱动电极,在基板上沉积出与电极腔体类似的金属图形。本实验主要沉积Cu、CuNi合金,通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)表征材料的结构。在具体实施过程中,考查了电压、沉积时间、电极底部与基板的距离、电解质的流量等因素对沉积过程和所得金属图形的影响。用Supereyes B011光学显微镜拍摄记录沉积的金属图形,根据沉积图形的变化,来分析各种因素的影响规律。经过工艺优化,获得了清晰的金属图形,验证了利用双极驱动电极进行无线定位沉积金属图形的可操作性。 展开更多
关键词 双极电化学 定位沉积 双极驱动电极 金属图形
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数字微流控生物芯片的电极管脚控制信号处理 被引量:2
16
作者 陈春艳 《电子科技》 2015年第9期93-96,共4页
随着对数字微流控生物芯片的深入研究,直接寻址DMFB需要大量独立控制引脚,显著增加了产品的制造成本。文中根据液滴路由路径,产生液滴路由所经过电极的驱动序列,利用芯片中一个引脚最多所能驱动的电极数量值,对产生的电极驱动序列进行分... 随着对数字微流控生物芯片的深入研究,直接寻址DMFB需要大量独立控制引脚,显著增加了产品的制造成本。文中根据液滴路由路径,产生液滴路由所经过电极的驱动序列,利用芯片中一个引脚最多所能驱动的电极数量值,对产生的电极驱动序列进行分区,对每个分区中的电极驱动序列进行比对,找出相互兼容的以此来减少控制引脚的数量。实验结果表明,该方案与交叉引用等方法相比,减少了控制引脚的数量,实现了对电极管脚控制信号的处理。 展开更多
关键词 数字微流控生物芯片 电极驱动 控制信号处理
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时分全分辨率可控液晶光栅设计 被引量:2
17
作者 林婷 张永爱 +2 位作者 褚子航 周雄图 郭太良 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期113-118,共6页
设计了一种可实现分光效果的可控液晶光栅.该液晶光栅由双层交错结构的驱动电极来控制液晶偏转,避免了单层控制电极之间的空白区,增加了控制面积,同时还实现了快速切换,补给了因空间分割损失的图像信息,从而使空分与时分结合实现时分全... 设计了一种可实现分光效果的可控液晶光栅.该液晶光栅由双层交错结构的驱动电极来控制液晶偏转,避免了单层控制电极之间的空白区,增加了控制面积,同时还实现了快速切换,补给了因空间分割损失的图像信息,从而使空分与时分结合实现时分全分辨率的自由立体显示.利用光刻和镀膜工艺在玻璃基板上制作氧化铟锡-二氧化硅-掺铝氧化锌双层交错结构的驱动电极,采用液晶成盒工艺将制备好的驱动电极基板和公共电极基板组装成液晶盒.光学显微镜测试表明,氧化铟锡第一电极和掺铝氧化锌第二电极的宽度为275.8μm,两者之间通过SiO2介质层隔离并相互交错覆盖在玻璃基板上.结合液晶光栅驱动电路,能有效地控制遮光区与透光区的切换,从而实现时分全分辨率可控液晶光栅. 展开更多
关键词 自由立体显示 全分辨率 驱动电极 液晶光栅 狭缝光栅 光学仿真 双视点
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视点可控液晶光栅的研究 被引量:1
18
作者 褚子航 张永爱 +4 位作者 何林昌 靳涛 周雄图 郭太良 杨兰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期197-204,共8页
提出一种双层交错结构的驱动电极控制液晶分子偏转的可控液晶光栅.利用光刻和镀膜工艺在玻璃基板上制作掺铝氧化锌-二氧化硅-掺铝氧化锌双层交错结构的驱动电极,采用液晶成盒工艺将制备好的驱动电极基板和公共电极基板组装成液晶盒.与... 提出一种双层交错结构的驱动电极控制液晶分子偏转的可控液晶光栅.利用光刻和镀膜工艺在玻璃基板上制作掺铝氧化锌-二氧化硅-掺铝氧化锌双层交错结构的驱动电极,采用液晶成盒工艺将制备好的驱动电极基板和公共电极基板组装成液晶盒.与传统单层控制电极相比,双层交错电极实现了基板的无缝覆盖,避免了各电极存在的空白区,使得器件的控制区域变得完整与灵活.光学显微镜测试表明,掺铝氧化锌第一电极和第二电极的宽度为275.8,两者之间通过SiO2介质层隔离并相互交错覆盖在玻璃基板上.结合液晶光栅驱动电路,可控液晶光栅能有效地控制遮光区与透光区的比值,实现不同3D视差图片在同一套系统中的实时切换播放,在多视点3D实时切换显示领域有一定的应用前景. 展开更多
关键词 自由立体显示 视点可控 驱动电极 液晶光栅 狭缝光栅 光学仿真
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电火花加工技术的新发展 被引量:8
19
作者 刘维东 狄士春 赵万生 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第5期76-81,共6页
概括了当今电火花加工技术的新的成果及其发展方向 ,即电火花加工的高速度、高精度和自动化 ,介绍了电火花加工中的控制技术、机床本体。
关键词 电火花加工 模糊控制 电极驱动 微细加工
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电火花加工主轴伺服系统的发展 被引量:1
20
作者 张强 宋博岩 施平 《电加工与模具》 2006年第4期13-17,共5页
对电火花加工设备的主轴伺服系统展开论述,分析了主轴伺服系统的作用及其性能要求,并阐述了主轴伺服系统各个发展阶段的特点、结构以及有代表性的成果。
关键词 电火花加工 主轴伺服 直线电机 电极直接驱动
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