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MEMS陀螺仪驱动谐振频率的温度补偿方法 被引量:6
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作者 刘玉县 汤丽 +1 位作者 陈婷 何春华 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第5期52-54,58,共4页
微机电系统(MEMS)陀螺的模态谐振频率和品质因子具有较强的温度敏感性,使得MEMS陀螺的输出零偏随温度漂移。为了解决零偏随温度漂移问题,提出了一种基于MEMS微机械陀螺的驱动谐振频率做温度基准的零偏温度补偿方法。温度在-40~60℃范... 微机电系统(MEMS)陀螺的模态谐振频率和品质因子具有较强的温度敏感性,使得MEMS陀螺的输出零偏随温度漂移。为了解决零偏随温度漂移问题,提出了一种基于MEMS微机械陀螺的驱动谐振频率做温度基准的零偏温度补偿方法。温度在-40~60℃范围内变化,经多次循环测量陀螺零偏,获得零偏与温度之间的变化关系,并在此基础上,对零偏进行建模分析。利用谐振频率与温度的线性关系,以驱动谐振频率为温度参考,对陀螺零偏进行实时温度补偿。实验结果表明:上电零偏稳定性由补偿前的143. 81°/h变为补偿后的26. 51°/h,降低了5. 42倍;温度在-40~60℃范围内变化,补偿前后的零偏稳定性分别为1368. 05°/h和62. 86°/h,降低了22倍。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS)陀螺 驱动谐振频率 零偏 实时温度补偿
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硅微陀螺模态频率温度特性的研究 被引量:9
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作者 满海鸥 肖定邦 +2 位作者 吴学忠 陈志华 侯占强 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1117-1121,共5页
硅微机械陀螺的零位输出受温度影响较大,为提高精度,对其进行温度误差补偿很有必要,而陀螺表头真空封装后内部温度难以直接测量。通过研究模态频率与温度之间的关系,发现驱动轴谐振频率与温度之间存在很好的线性相关性,同时具有很好的... 硅微机械陀螺的零位输出受温度影响较大,为提高精度,对其进行温度误差补偿很有必要,而陀螺表头真空封装后内部温度难以直接测量。通过研究模态频率与温度之间的关系,发现驱动轴谐振频率与温度之间存在很好的线性相关性,同时具有很好的温度重复性。由于谐振频率的精度很高,所以用谐振频率测量温度会有很好的分辨率。因此,可以利用驱动模态的谐振频率来标定陀螺表头内部的温度,为下一步的温度补偿提供新的方法。 展开更多
关键词 硅微陀螺 驱动谐振频率 温度模型 线性回归
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采用恒频参量激励的微机械陀螺驱动控制方案 被引量:3
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作者 林一羽 郑旭东 +2 位作者 吴海斌 马志鹏 金仲和 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期1795-1804,共10页
提出一种基于恒定谐振频率和参量激励的微机械(MEMS)陀螺驱动控制方案.该方案利用三角形栅极电容实现,使得陀螺驱动谐振频率和品质因子在环境波动下保持恒定,改善陀螺的温度敏感性.介绍基于三角形栅极电容的频率调谐和参量激励理论,提... 提出一种基于恒定谐振频率和参量激励的微机械(MEMS)陀螺驱动控制方案.该方案利用三角形栅极电容实现,使得陀螺驱动谐振频率和品质因子在环境波动下保持恒定,改善陀螺的温度敏感性.介绍基于三角形栅极电容的频率调谐和参量激励理论,提出并实现新型恒定谐振频率和参量激励驱动方案.仿真结果表明,对陀螺驱动模态的实时调谐使得谐振频率恒定;参量激励实现了对驱动模态的稳幅控制.实验结果表明,该方案测得的陀螺的Allan方差偏置不稳定性为1.69°/h,优于传统方案;降温过程中零偏温漂相比传统方案减小了50%. 展开更多
关键词 微机械(MEMS)陀螺 驱动控制方案 参量激励 谐振频率驱动 三角形栅极电容
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Frequency comb in a parametrically modulated micro-resonator 被引量:1
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作者 Xuefeng Wang Qiqi Yang +5 位作者 Zhan Shi Ronghua Huan Weiqiu Zhu Xingjian Jing Zichen Deng Xueyong Wei 《Acta Mechanica Sinica》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第11期79-88,共10页
In this paper,we report the frequency comb response experimentally and analytically in a rhombic micro-resonator with parametrical modulation.When the electrostatically actuated rhombic micro-resonator is modulated ax... In this paper,we report the frequency comb response experimentally and analytically in a rhombic micro-resonator with parametrical modulation.When the electrostatically actuated rhombic micro-resonator is modulated axially by a low-frequency periodic excitation,a comb-like vibration response with few equidistant positioned fingers in the frequency domain is observed.The finger spacing of frequency comb response is exactly consistent with modulation frequency and the number and amplitude of the fingers can be tuned by modulation strength.A mixed frequency comb with extra comb fingers is further generated when the resonator is modulated simultaneously by two different low-frequency excitation signals.By adjusting the relation of the two modulation frequencies,unequal spacing frequency combs are achieved for the first time,which leads to a more flexible tunability of the comb spacing for different applications.Theoretical analysis based on the dynamic model well explains the corresponding observations. 展开更多
关键词 MICRO-RESONATOR Nonlinear dynamics VIBRATION Parametrical modulation Frequency comb
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