基于阻尼合金层的轴箱弹簧驻波效应抑制研究

高速列车轴箱弹簧是转向架结构传声的主要路径,其驻波效应会对转向架高频隔振特性乃至车内噪声产生显著影响。因此,基于弹簧驻波效应机理,采用有限元法建立轴箱弹簧有限元模型,探究轴箱弹簧在0~2000Hz频率区段内的模态应变能分布特点,提出在轴箱弹簧簧条内侧敷设阻尼合金层的结构设计方案,调查阻尼合金层厚度对抑制特性的影响。结果表明,由于轴箱弹簧质量分布惯性作用的影响,其高频段会产生明显的驻波效应,对轴箱弹簧隔振性能产生显著影响。在轴箱弹簧簧条内侧贴附阻尼合金层可以有效提升其阻尼性能,2 mm厚阻尼合金层可将轴箱弹簧模态损耗因子从0.001提升至0.005,峰值密集区和峰值稀疏区选取的振动峰值抑制量分别可达16.3 dB和13.4 dB,三分之一倍频段抑制量最高可达6.8dB。该研究结果可为高速列车振动与噪声控制提供指导和支撑。

螺旋弹簧的驻波效应对悬架隔振特性的影响

本文在线性假设的条件下 ,利用四端参数的分析方法 ,研究分析了悬架螺旋弹簧的驻波效应及其对悬架振动传递特性的影响 ,并利用研究结果对悬架振动实际实验中测量得到的结果进行了解释。最后 ,提出了抑制螺旋弹簧驻波效应的方法。

光刻中驻波效应的影响分析

驻波效应是抗蚀剂在曝光过程中的寄生现象。一般认为,驻波效应对薄胶的光刻图形有较大的影响,而对厚胶的光刻图形影响不大。根据DILL曝光模型进行了模拟计算,分析了在曝光过程中抗蚀剂折射率的改变对驻波强度和位置的影响以及驻波效应引起抗蚀剂曝光剂量分布的变化,并结合MACK显影模型分析了当抗蚀剂的厚度改变时,驻波效应对其显影轮廓的影响程度,计算分析得出了一个可以不采用后烘工序的抗蚀剂厚度值。

减小光刻中驻波效应的新方法研究

光刻过程中 ,抗蚀剂内部光敏混合物 (PAC)浓度受光场的影响呈驻波分布 ,导致抗蚀剂显影后的侧壁轮廓成锯齿状。分析了后烘 (PEB)对PAC浓度分布的影响 ,模拟了不同后烘扩散长度下的抗蚀剂显影轮廓 ,从模拟结果可知利用后烘可明显减小驻波效应 ,得到平滑的抗蚀剂显影轮廓 ,提高光刻质量。

柔性隔振系统中驻波效应的研究

基于多维系统阻抗分析的观点，综合考虑隔振器驻波效应和柔性基础的动态特性。运用子结构导纳综合法，推出了相应的隔振效果解析公式；探讨了柔性基础与刚性基础情况下驻波效应的差别；分析了基础的动态特性、质量比及阻尼对驻波效应的影响规律；提出了高频隔振设计的途径．

后烘对驻波效应的影响分析

研究了不同后烘情况下的PAC浓度分布和抗蚀剂的显影轮廓,结果表明适当的后烘可明显减小驻波缺陷,提高光刻质量,而过量的后烘将会导致抗蚀剂图形结构劣化。

微光刻中的驻波效应研究

本文阐述了驻波效应的成因及其对微细图形光刻，特别是对深亚微米和亚半微米光刻的影响；分析了驻波强度分布；根据抗蚀剂的物理和化学机制，建立了抗蚀剂显影过程的数学和物理模型，并开展了计算机模拟和光刻曝光实验；研究了减小驻波效应的方法；给出了部分模拟和实验结果。

隔振器参数及高频驻波效应对浮筏隔振性能的影响

建立了船用浮筏的有限元模型,计算分析了隔振器刚度、阻尼对浮筏隔振性能的影响,定性分析了驻波效应对隔振效果的影响。结果表明:隔振器刚度的变化主要影响系统低频部分的隔振性能,对高频部分影响不大,增加隔振器刚度会降低浮筏的隔振性能;隔振器阻尼的增加不利于浮筏减振降噪,尤其在高频段;隔振器的高频驻波效应对浮筏的隔着效果造成严重影响,且频率越高影响越大。

大面积VHF-PECVD用多点馈入平行板电极馈入点优化的数值研究

本文采用二维准平面电路模型,对大面积甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)用多点馈入平行板电极馈入点的优化进行了数值研究,讨论了不同的多点馈入模式对平行板电极间真空电势分布均匀性的影响。研究结果表明:对于给定激发频率和尺度的大面积平行板电极,功率馈入连接点位置分布和数量成为影响电极间电势分布均匀性的两个重要可控参量,通过优化功率馈入连接点数量和连接点位置分布,可以抑制电势驻波效应及功率馈入点对数奇点效应,很大程度上有效地改善了电极间电势分布的均匀性。本文数值计算结果在一定程度上为VHF-PECVD技术用平行板电极实现大面积薄膜均匀沉积的系统设计提供了理论指导。

双体船结构水下中低频辐射噪声特性研究

论文较为详细地研究了双体船结构水下中低频辐射噪声特性。基于声固耦合法,建立了双体船水下中低频声辐射数值预报模型,分析了单侧片体激励、双侧片体激励等典型激励下的双体船结构水下中低频辐射声场分布,讨论了双体船水下辐射噪声的计算方法。研究表明,双体船水下声辐射与单体船相比存在一定差异,片体结构会对双体船结构水下声辐射产生影响,使其辐射声场发生改变,特别是对其近场声辐射而言,当片体间距与声波波长满足一定关系时,片体之间区域会产生驻波效应,从而使双体船水下声辐射分布发生改变;而当片体间区域不产生驻波效应时,双体船水下辐射噪声大致满足线性叠加原理。

悬架弹性元件对悬架振动传递特性的影响

为了分析研究橡胶元件减振隔振的机理 ,在线性假设的前提下 ,用复刚度表示悬架弹性元件的刚度 ,在车身车轮双质量 1/ 4车振动模型的基础上建立了考虑悬架系统中的橡胶弹性支承元件影响的 1/ 4车振动模型 ,并利用该模型详细论述了橡胶元件对悬架振动传递特性的总体影响 ,指出其能减小车身部分固有频率附近的传递系数 ,增大车轮部分固有频率附近的传递系数 ,明显改善高频段的隔振性能。

一种估算橡胶隔振器机械阻抗特性的简化方法

以四端参数法导出的各机械阻抗量的相互关系为基础,通过理论分析、数值仿真与试验手段,提出了简单橡胶圆柱体中高频机械阻抗的分段式简化模型。该简化模型优点明显,仅需要知道有限参数(橡胶隔振器单自由度的阻抗特性与考虑隔振器驻波效应时的前三阶频率),就可大致估算出橡胶隔振器的中高频率的振动阻抗特性,大大减小了计算量。最后文章给出了复杂橡胶隔振器的试验与有限元仿真、简化模型的对比结果,吻合较好,表明该方法用于橡胶隔振器的中高频机械阻抗的近似估算,具有一定的工程应用价值。

橡胶减振元件中高频机械阻抗的数值模拟

由于驻波效应,橡胶减振元件受宽频带激励会产生中高频段共振,导致减振效果下降,舰船水下中高频段声辐射量增大,因此掌握橡胶减振元件中高频振动隔离性能非常重要。基于有限元高频适用范围的关系理论结合大型通用有限元软件ABAQUS,采用结构阻尼法分析减振元件的高频振动特性(点阻抗、传递阻抗和隔振传递率),获得了与试验数据结果相一致分析结果,表明采用结构阻尼数值方法分析橡胶减振元件的动态性能是一种可行的中高频振动隔离性能评估手段。

BARC工艺在亚微米光刻中的应用

在表面强反射膜-多晶硅上进行亚微米光刻时,采用有机BARC(BottomAnti-ReflectiveCoating)工艺,降低了晶片表面的台阶高度,并有效地抑制了驻波效应,获得良好的光刻图形,从而使产品良率提高了6%～7%。

声学实验及部分声学量的测量

根据超声波在损耗介质中的准驻波效应 ,对声速测量实验的内容进行了重新设计 。

分布参数双层隔振系统建模及其振动传递特性

从振动能量传递观点及工程实际隔振设计的角度出发,建立了中间连续筏体和中间分散质量两类双层隔振系统的解析模型。考虑连续筏体、隔振器及安装基础的分布参数特性,基于导纳矩阵理论对两类双层隔振系统的动态特性传递方程进行了理论推导。以功率流为价值函数揭示了系统振动传递机理并阐述了实际双层隔振设计需遵循的一般规律。实例研究表明：力矩激励在隔振系统能量传输中扮演着重要角色,应尽量减少力矩扰动带来的能量注入;在能耗效率及安装空间允许条件下,适当放大中间质量可获得更佳的隔振效果;中间筏体的柔性、隔振器的分布参数特性以及安装基础的非刚性因素使得中高频隔振性能恶化,采用中间分散质量方案可有效避免筏体柔性模态影响,并能显著降低隔振器驻波同柔性筏体模态间的耦合交互引起的能量峰值。

大面积PECVD平行板电极间电势差分布均匀性数值研究

应用二维准平面电路模型对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)大面积平行板电极间电势差分布均匀性进行了数值研究。计算结果表明:在等离子体存在的条件下,电极间电势差分布非均匀性与真空下相比大大增加,电极间的电势驻波效应显著增强,在甚高频条件下会有一阶电势驻波节点出现。另外,波长衰减因子对电势差分布非均匀性影响也表明电极间的电势驻波效应在很大程度上是受等离子体辉光条件控制。本文数值计算结果与近来实验报道的相关结果有很好的吻合。

微细图形光刻计算机模拟软件

本文介绍了新近开发成功的ＢＥＨＡＶＥ软件。该软件具有良好的交互式界面，全面高效的计算模拟功能，是研究探讨微细图形光刻中的驻波效应以及整个微细图形光刻工艺计算模拟的强有力工具。

一种新型谐振腔增强型光电探测器的性能分析

通过理论探讨和实验仿真,分析了一种新型谐振腔增强型光电探测器RCEP(Resonant Cavity Enhanced Photodetector)的结构及性能,该RCEP的基本结构是将吸收层插入到谐振腔当中,并指出这种新型器件较传统器件可获得较高的量子效率和响应速度,而其具有的波长选择特性,使这种新型器件可在光波分复用WDM(Wavelength Division Multiplexing)系统中获得广泛应用。

电力远程自动集中抄表系统

本文主要论述电力远程自动集中抄表系统的构成、特点以及系统的发展前景。