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Er_2O_3薄膜的电学性质研究
被引量:
1
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作者
陈圣
徐润
+4 位作者
朱燕艳
方泽波
薛菲
樊永良
蒋最敏
《江西科学》
2005年第5期499-501,510,共4页
Er2O3是一种很有希望的高κ材料。在氧气氛下热蒸发金属铒源,制备了Er2O3的薄膜,随后在氧气氛下对它进行了退火。通过对其C-V及I-V特性的测试,认为该材料的电学特性优秀,应该进行进一步的研究。
关键词
Er2O3
高κc—v
I
—v
下载PDF
职称材料
题名
Er_2O_3薄膜的电学性质研究
被引量:
1
1
作者
陈圣
徐润
朱燕艳
方泽波
薛菲
樊永良
蒋最敏
机构
复旦大学应用表面物理国家重点实验室
出处
《江西科学》
2005年第5期499-501,510,共4页
基金
国家重点基础研究专项基金(批准号:G2001CB3095
10321003和60425411)资助的课题
文摘
Er2O3是一种很有希望的高κ材料。在氧气氛下热蒸发金属铒源,制备了Er2O3的薄膜,随后在氧气氛下对它进行了退火。通过对其C-V及I-V特性的测试,认为该材料的电学特性优秀,应该进行进一步的研究。
关键词
Er2O3
高κc—v
I
—v
Keywords
Er2O3, High - κ,
c
-
v
, I -
v
分类号
O484.42 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Er_2O_3薄膜的电学性质研究
陈圣
徐润
朱燕艳
方泽波
薛菲
樊永良
蒋最敏
《江西科学》
2005
1
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职称材料
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