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高压离子轰击源控制与保护研究
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作者 邓志杰 范多旺 魏宗寿 《兰州铁道学院学报》 1998年第1期43-46,共4页
介绍了真空镀膜设备中高压离子轰击源的电路构成以及在“离子清洗”工艺过程和“离子聚合”工艺过程的工作原理，同时论述了对于过流现象所采取的一些软、硬件保护措施．
关键词 真空镀膜 高压离子轰击 过流保护
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