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平面高反压器件的优化设计与工艺分析
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作者 邓蓓 包宗明 《应用科学学报》 CAS CSCD 1990年第1期91-94,共4页
本文用有限差分法解两维泊松方程,分析了在带有场限制环的平面高反压器件的制作中,硅表面不同的正电荷对最优环间距和击穿电压的影响及在掩膜间距不变的情况下击穿电压对衬底掺杂浓度和结深的灵敏性.这些结果对实际工艺生产有指导意义.
关键词 高反压器件 优化 平面
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平面高反压器件的两维数值模拟
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作者 邓蓓 包宗明 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1989年第2期155-160,共6页
本文报告了用有限差分法解两维泊松方程的方法分析带有场限制环的平面高反压器件的耐压性能的模拟程序。介绍了程序的算法及原理。程序是用FORTRAN语言编写,并在VAX11/750机上实现。文中还举例说明了利用此程序分析平面高反压器件所得... 本文报告了用有限差分法解两维泊松方程的方法分析带有场限制环的平面高反压器件的耐压性能的模拟程序。介绍了程序的算法及原理。程序是用FORTRAN语言编写,并在VAX11/750机上实现。文中还举例说明了利用此程序分析平面高反压器件所得到的新结果在器件的优化设计及实际生产中的重要意义。 展开更多
关键词 平面器件 高反压器件 数值模拟
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关于台面硅整流器件切割工艺新技术的研究
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作者 王道强 方文杰 韩玖荣 《扬州职业大学学报》 2016年第2期53-55,共3页
本文发展了一种新的台面硅整流器件的切割方法,该制程工艺能有效消除传统的砂轮切割方式导致的玻璃钝化芯片出现的微裂纹缺陷,避免了传统工艺砂轮与硅片之间接触所造成的各种机械损伤以及暗伤隐患。按照该切割方法所制作的产品,其切割... 本文发展了一种新的台面硅整流器件的切割方法,该制程工艺能有效消除传统的砂轮切割方式导致的玻璃钝化芯片出现的微裂纹缺陷,避免了传统工艺砂轮与硅片之间接触所造成的各种机械损伤以及暗伤隐患。按照该切割方法所制作的产品,其切割面的不完整性与粗糙程度能有效降低。因此能提高该类半导体器件的性能,特别是提高了高反压器件的稳定性、可靠性和耐压强度。 展开更多
关键词 硅整流台面 高反压器件 切割方法
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硅/硅键合新方法的研究 被引量:1
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作者 刘玉岭 王新 +3 位作者 张文智 徐晓辉 张德臣 张志花 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期16-20,共5页
研究成功用Ⅳ族元素锗进行硅/硅键合的一整套新技术(代替通用的亲水法);实现了键合层无孔洞, 边沿键合率达98% 以上, 键合强度达2156 Pa 以上, 并通过在锗中掺入与低阻同型号的杂质, 实现了应力补偿。
关键词 键合 应力补偿 高反功率器件
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Gas-Liquid Mass Transfer in a Slurry Bubble Column Reactor under High Temperature and High Pressure 被引量:6
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作者 杨卫国 王金福 金涌 《Chinese Journal of Chemical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2001年第3期253-257,共5页
The gas-liquid mass transfer of H2 and CO in a high temperature and high-pressure three-phase slurry bubble column reactor is studied. The gas-liquid volumetric mass transfer coefficients kLa are obtained by measuring... The gas-liquid mass transfer of H2 and CO in a high temperature and high-pressure three-phase slurry bubble column reactor is studied. The gas-liquid volumetric mass transfer coefficients kLa are obtained by measuring the dissolution rate of H2 and CO. The influences of the main operation conditions, such as temperature, pressure, superficial gas velocity and solid concentration, are studied systematically. Two empirical correlations are proposed to predict kLa values for H2 and CO in liquid paraffin/solid particles slurry bubble column reactors. 展开更多
关键词 gas-liquid mass transfer high temperature high pressure slurry bubble column
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