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高反膜片均方根粗糙度的测量
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作者 杨开勇 龙兴武 付文羽 《计量与测试技术》 2000年第6期6-7,共2页
针对特定的膜层结构 ,从理论上计算了膜片表面散射与表面均方根粗糙度的关系 ,根据测量的膜片表面总积分散射计算得到的表面均方根粗糙度与在长春光机所用由美国进口的WYKO表面测量仪测量得到的表面均方根粗糙度基本符合。除了在有明显... 针对特定的膜层结构 ,从理论上计算了膜片表面散射与表面均方根粗糙度的关系 ,根据测量的膜片表面总积分散射计算得到的表面均方根粗糙度与在长春光机所用由美国进口的WYKO表面测量仪测量得到的表面均方根粗糙度基本符合。除了在有明显伤痕的地方相差较大而外 ,它们相差在 1A°以内。 展开更多
关键词 高反膜片 表面均方根粗糙度测量 积分散射仪
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高反膜片的热效应及其数值模拟
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作者 左超 曾淳 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 1999年第2期170-172,共3页
高反膜片的相位反射和振幅反射随温度的变化而变化,从这种实验现象入手,分析了膜层材料参数的变化对高反膜片热效应的影响,从而得出折射率的变化是导致高反膜片热效应的主要原因。
关键词 高反膜片 热效应 椭偏术 激光器
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