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高品质金刚石膜微波等离子体CVD技术的发展现状
被引量:
12
1
作者
唐伟忠
于盛旺
+3 位作者
范朋伟
李义锋
苏静杰
刘艳青
《中国材料进展》
CAS
CSCD
2012年第8期33-39,共7页
金刚石膜拥有许多优异的性能。在制备金刚石膜的各种方法之中,高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法因其产生的等离子体密度高,同时金刚石膜沉积过程的可控性和洁净性好,因而一直是制备高品质金刚石膜的首选方法。在世界范围内,美...
金刚石膜拥有许多优异的性能。在制备金刚石膜的各种方法之中,高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法因其产生的等离子体密度高,同时金刚石膜沉积过程的可控性和洁净性好,因而一直是制备高品质金刚石膜的首选方法。在世界范围内,美、英、德、日、法等先进国家均已掌握了以高功率MPCVD法沉积高品质金刚石膜的技术。但在我国国内,高功率MPCVD装备落后一直是困扰我国高品质金刚石膜制备技术发展的主要障碍。首先综述国际上高功率MPCVD装备和高品质金刚石膜制备技术的发展现状,包括各种高功率MPCVD装置的特点。其后,回顾了我国金刚石膜MPCVD技术的发展历史,并介绍北京科技大学近年来在发展高功率MPCVD装备和高品质金刚石膜制备技术方面取得的新进展。
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关键词
MPCVD
金刚石
膜沉积技术
高品质金刚石
膜
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职称材料
Φ38mm腔体粉末触媒工艺合成高品质金刚石研究
被引量:
2
2
作者
邓福铭
刘瑞平
+4 位作者
李学伟
刘晓慧
郭港
雷仁贵
陈启武
《超硬材料工程》
CAS
2005年第3期7-10,共4页
采用气雾化Fe70Ni30粉末触媒及Φ38 mm合成腔体,在国产Y-500型六面顶压机(缸径Φ500 mm)上进行了高品质金刚石的合成实验研究.结果表明,平均单产为72ct, 静压强度值在198.9~260.7kN之间,合成金刚石的TI、TTI值分别为74%~79.5% 和66.8%...
采用气雾化Fe70Ni30粉末触媒及Φ38 mm合成腔体,在国产Y-500型六面顶压机(缸径Φ500 mm)上进行了高品质金刚石的合成实验研究.结果表明,平均单产为72ct, 静压强度值在198.9~260.7kN之间,合成金刚石的TI、TTI值分别为74%~79.5% 和66.8%~70.3%,且TI值和TTI值之差在10%以内,合成的金刚石为金黄色,晶型完整率高,呈六八面体,杂质含量少且呈规则分布,质量基本上接近于国外SMD20/SMD30产品水平.合成的金刚石质量的明显改善应归功于所采用的Fe70Ni30粉末触媒合成工艺对金刚石生长环境的改善和生长速率的有效控制.
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关键词
高品质金刚石
实验研究
粉末触媒工艺
高
温
高
压
合成工艺
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职称材料
压机大型化对金刚石品质提高的新认识
3
作者
杨烨
温简杰
+1 位作者
李颖
方啸虎
《超硬材料工程》
CAS
2013年第6期15-19,共5页
文章从材料、腔体设计、合成工艺、合成设备及环境因素等方面对压机大型化带来进一步扩大腔体进行了阐述,从不同方面的技术进步及改进,论述了大腔体对金刚石品质提高的新认识,这是保证高品质金刚石获得的必然结果。
关键词
合成材料
腔体设计
合成工艺
设备控制
高品质金刚石
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职称材料
试论我国金刚石行业超高压技术的发展道路问题
被引量:
5
4
作者
邓福铭
陈启武
李启泉
《超硬材料工程》
CAS
2005年第3期33-36,共4页
回顾了国内外金刚石行业超高压技术的发展情况,比较分析了两面顶超高压技术与六面顶超高压技术的各自优势及其局限性,探讨了我国金刚石行业六面顶超高压技术发展中的有关问题及其解决办法,试图阐明我国六面顶超高压技术未来的发展方向。
关键词
超
高
压技术
综述
六面顶超
高
压设备
两面顶超
高
压装置
高品质金刚石
下载PDF
职称材料
快讯
5
《磨料磨具通讯》
2013年第2期33-34,共2页
豫金刚石获2012年中央基建专项资金 豫金刚仃(300064)周一午间公告称,根据相关文件,公司“高品质金刚石项目”被列入产业振兴和技术改造项目,获得2012年中央基建投资预算专项资金1650万元。
关键词
高品质金刚石
专项资金
技术改造项目
投资预算
基建
中央
原文传递
郑州继续发展壮大超硬材料产业
6
《磨料磨具通讯》
2008年第1期24-24,共1页
郑州市人民政府关于加快推进城区科技自主创新和高新技术产业发展的意见指出:郑州市将继续发展壮大高品质金刚石及CBN磨料、纳米金刚石、精密高效超硬材料工具和磨具,高档涂附磨具、强力磨削及大规格系列固结磨具、高效锆刚玉重负荷...
郑州市人民政府关于加快推进城区科技自主创新和高新技术产业发展的意见指出:郑州市将继续发展壮大高品质金刚石及CBN磨料、纳米金刚石、精密高效超硬材料工具和磨具,高档涂附磨具、强力磨削及大规格系列固结磨具、高效锆刚玉重负荷砂轮和高档异型、特种涂附磨具,氧化硅、碳化钛、陶瓷超细微粉及其制品等新产品。
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关键词
超硬材料工具
郑州市
材料产业
高品质金刚石
涂附磨具
CBN磨料
纳米
金刚石
产业发展
原文传递
题名
高品质金刚石膜微波等离子体CVD技术的发展现状
被引量:
12
1
作者
唐伟忠
于盛旺
范朋伟
李义锋
苏静杰
刘艳青
机构
北京科技大学材料科学与工程学院
出处
《中国材料进展》
CAS
CSCD
2012年第8期33-39,共7页
基金
国家自然科学基金(10675017)
国际科技合作项目(2010DFR50130)
文摘
金刚石膜拥有许多优异的性能。在制备金刚石膜的各种方法之中,高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法因其产生的等离子体密度高,同时金刚石膜沉积过程的可控性和洁净性好,因而一直是制备高品质金刚石膜的首选方法。在世界范围内,美、英、德、日、法等先进国家均已掌握了以高功率MPCVD法沉积高品质金刚石膜的技术。但在我国国内,高功率MPCVD装备落后一直是困扰我国高品质金刚石膜制备技术发展的主要障碍。首先综述国际上高功率MPCVD装备和高品质金刚石膜制备技术的发展现状,包括各种高功率MPCVD装置的特点。其后,回顾了我国金刚石膜MPCVD技术的发展历史,并介绍北京科技大学近年来在发展高功率MPCVD装备和高品质金刚石膜制备技术方面取得的新进展。
关键词
MPCVD
金刚石
膜沉积技术
高品质金刚石
膜
Keywords
high power MPCVD technique
high quality diamond films
分类号
TB79 [一般工业技术—真空技术]
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
下载PDF
职称材料
题名
Φ38mm腔体粉末触媒工艺合成高品质金刚石研究
被引量:
2
2
作者
邓福铭
刘瑞平
李学伟
刘晓慧
郭港
雷仁贵
陈启武
机构
中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所
黑龙江科技学院材料科学与工程系
黑龙江科技学院材料科学与工程系
出处
《超硬材料工程》
CAS
2005年第3期7-10,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.50342017)
北京市自然科学基金(No.2042019)
文摘
采用气雾化Fe70Ni30粉末触媒及Φ38 mm合成腔体,在国产Y-500型六面顶压机(缸径Φ500 mm)上进行了高品质金刚石的合成实验研究.结果表明,平均单产为72ct, 静压强度值在198.9~260.7kN之间,合成金刚石的TI、TTI值分别为74%~79.5% 和66.8%~70.3%,且TI值和TTI值之差在10%以内,合成的金刚石为金黄色,晶型完整率高,呈六八面体,杂质含量少且呈规则分布,质量基本上接近于国外SMD20/SMD30产品水平.合成的金刚石质量的明显改善应归功于所采用的Fe70Ni30粉末触媒合成工艺对金刚石生长环境的改善和生长速率的有效控制.
关键词
高品质金刚石
实验研究
粉末触媒工艺
高
温
高
压
合成工艺
Keywords
high-quality diamond
experiment
powdered catalyst
high pressure and high temperature (HP/HT)
synthesizing technology
分类号
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
下载PDF
职称材料
题名
压机大型化对金刚石品质提高的新认识
3
作者
杨烨
温简杰
李颖
方啸虎
机构
河南工业大学
晶日超硬材料有限公司
上海昌润极锐超硬材料有限公司
出处
《超硬材料工程》
CAS
2013年第6期15-19,共5页
文摘
文章从材料、腔体设计、合成工艺、合成设备及环境因素等方面对压机大型化带来进一步扩大腔体进行了阐述,从不同方面的技术进步及改进,论述了大腔体对金刚石品质提高的新认识,这是保证高品质金刚石获得的必然结果。
关键词
合成材料
腔体设计
合成工艺
设备控制
高品质金刚石
Keywords
synthesis materials
cavity design
synthesis technology
equipment control
high quality diamond
分类号
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
下载PDF
职称材料
题名
试论我国金刚石行业超高压技术的发展道路问题
被引量:
5
4
作者
邓福铭
陈启武
李启泉
机构
中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所
长沙矿冶研究院
长沙矿冶研究院
出处
《超硬材料工程》
CAS
2005年第3期33-36,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.50342017)
北京市自然科学基金(No.2042019)
文摘
回顾了国内外金刚石行业超高压技术的发展情况,比较分析了两面顶超高压技术与六面顶超高压技术的各自优势及其局限性,探讨了我国金刚石行业六面顶超高压技术发展中的有关问题及其解决办法,试图阐明我国六面顶超高压技术未来的发展方向。
关键词
超
高
压技术
综述
六面顶超
高
压设备
两面顶超
高
压装置
高品质金刚石
Keywords
ultra-high pressure technique
summarizing
cubic press
belt type apparatus
high-quality diamond
分类号
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
下载PDF
职称材料
题名
快讯
5
出处
《磨料磨具通讯》
2013年第2期33-34,共2页
文摘
豫金刚石获2012年中央基建专项资金 豫金刚仃(300064)周一午间公告称,根据相关文件,公司“高品质金刚石项目”被列入产业振兴和技术改造项目,获得2012年中央基建投资预算专项资金1650万元。
关键词
高品质金刚石
专项资金
技术改造项目
投资预算
基建
中央
分类号
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
原文传递
题名
郑州继续发展壮大超硬材料产业
6
出处
《磨料磨具通讯》
2008年第1期24-24,共1页
文摘
郑州市人民政府关于加快推进城区科技自主创新和高新技术产业发展的意见指出:郑州市将继续发展壮大高品质金刚石及CBN磨料、纳米金刚石、精密高效超硬材料工具和磨具,高档涂附磨具、强力磨削及大规格系列固结磨具、高效锆刚玉重负荷砂轮和高档异型、特种涂附磨具,氧化硅、碳化钛、陶瓷超细微粉及其制品等新产品。
关键词
超硬材料工具
郑州市
材料产业
高品质金刚石
涂附磨具
CBN磨料
纳米
金刚石
产业发展
分类号
TG704 [金属学及工艺—刀具与模具]
F427 [经济管理—产业经济]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高品质金刚石膜微波等离子体CVD技术的发展现状
唐伟忠
于盛旺
范朋伟
李义锋
苏静杰
刘艳青
《中国材料进展》
CAS
CSCD
2012
12
下载PDF
职称材料
2
Φ38mm腔体粉末触媒工艺合成高品质金刚石研究
邓福铭
刘瑞平
李学伟
刘晓慧
郭港
雷仁贵
陈启武
《超硬材料工程》
CAS
2005
2
下载PDF
职称材料
3
压机大型化对金刚石品质提高的新认识
杨烨
温简杰
李颖
方啸虎
《超硬材料工程》
CAS
2013
0
下载PDF
职称材料
4
试论我国金刚石行业超高压技术的发展道路问题
邓福铭
陈启武
李启泉
《超硬材料工程》
CAS
2005
5
下载PDF
职称材料
5
快讯
《磨料磨具通讯》
2013
0
原文传递
6
郑州继续发展壮大超硬材料产业
《磨料磨具通讯》
2008
0
原文传递
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