反射式光电编码器

研制了反射式光电编码器。介绍了光栅自成像原理,完善了高密度基准光栅的制作工艺,研制完成了32768刻线对光栅和高集成度光电读数头,最后制成了反射式高精度光电编码器。该编码器采用多参考点编码方式,加快和简化了确定基准零点的操作,初始化转动最大5.625°即可确定基准零点。采用自准直光管和23面棱体检测了编码器的测角精度,其单边读数头均方根误差为1.11″,对径双读数头均方根误差为0.75″;反射式读数使光栅与读数头间隙提高10倍达到2.0mm。结果表明,研制成功的高精度反射式光电编码器结构简单,反射式读数头光电信号质量较高。该编码器为高精度测角应用提供了一种新的解决方案。