高支化碱溶性丙烯酸化聚酯光刻胶的性能及成像性研究

将高支化碱溶性丙烯酸化聚酯用于光致抗蚀剂,因其独特的三维结构而具有的低粘度,高活性使抗蚀剂膜收缩率小,而具有良好的成像显影性。通过控制合适的树脂酸值及成像显影条件,可得到良好断面的图像,并且抗蚀剂线条图分辨率可达～1μm。当光源分别为平行光和点光源时图像清晰程度不一样:平行光比点光源好。

高支化碱溶性感光聚酯的光成像性能

研究了高支化碱溶性感光聚合物的碱溶性、感光性及其光致抗蚀剂的成像显影性能。研究发现高支化碱溶性感光聚合物酸值越大 ,图像越清晰 ,显影时间越短 ,并具有更良好的图像断面 ;平行光曝光图像清晰度和断面情况均比点光源好 ;在合适的成像显影条件下 ,经UV白光接触曝光高支化感光聚合物抗蚀剂图像分辨率可达到约 1μm。

含光敏剂的高支化碱溶性感光聚合物的合成及性能

以 1,2 ,4 -苯三甲酸酐、环氧氯丙烷和光敏剂 1173合成了分子内带有光敏单元的高支化碱溶性聚酯 ,聚合反应转化率在 1h内可达 90 %以上 ;以甲基丙烯酸缩水甘油酯与高支化聚酯反应制得分子内带有光敏单元的高支化碱溶性光固化树脂 ;树脂的热转变温度在 16 0～ 2 10℃ ,在碱水溶液中溶解性好 ,无需外加光敏剂在紫外光照射下便可固化、交联 ,光固化的反差 γ可达到 7.

官能化环氧改性超支化碱溶性聚酯

通过丙烯酸与多官能环氧树脂反应合成官能化环氧树脂,利用官能化环氧树脂对由环氧氯丙烷和1,2,4-偏苯三甲酸酐合成的超支化碱溶性聚酯进行改性,得到官能化环氧树脂改性超支化碱溶性聚酯;研究了树脂的组成对感光性和碱溶性的影响;树脂的E0可达到4.80mJ/cm2,反差γ可达到2.54。结果表明,由于特殊的三维球形结构,使得超支化聚合物在光致抗蚀剂中具有应用前景。

一种超支化碱溶性感光聚合物的合成及性能

以己二酸和三羟甲基丙烷为原料,通过羧基和羟基的酯化反应反复扩链聚合,生成外围含有羧基和羟基的超支化聚合物,利用超支化聚合物分子外围的羧基与甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)的环氧基进行开环加成反应,生成超支化碱溶性感光聚合物。反应过程通过体系的酸值变化进行跟踪,并研究了树脂组成对感光性和碱溶性的影响。结果表明,合成聚合物的碱溶性不仅与树脂的酸值有关,还受分子中己二酸链段含量的影响,而感光性能与反应物分子中-COOH/-OH物质的量比和分子外围感光基团含量有关,通过调整合成树脂的配方可得到具有较好感光性能的超支化碱溶性感光聚合物。

TA-EG-GMA合成超支化碱溶性感光聚合物

通过1,2,4-偏苯三酸酐和乙二醇反应合成超支化聚合物,利用合成聚合物分子外围的羧基与甲基丙烯酸缩水甘油酯反应,在超支化聚合物分子外围引入反应性甲基丙烯酰氧基.研究了树脂组成对感光性和碱溶性的影响.结果表明:调整反应物料配比及反应性甲基丙烯酰氧基含量,可以获得较好的碱溶性和光固化性能.

季戊四醇-偏苯三酸酐-环氧氯丙烷合成超支化聚合物

以季戊四醇为“中心核”,与1,2,4-偏苯三甲酸酐和环氧氯丙烷反应合成超支化碱溶性聚酯,利用合成聚合物分子外围的羧基与甲基丙烯酸缩水甘油酯反应,在超支化聚合物分子外围引入反应性甲基丙烯酰氧基．研究了树脂组成对感光性和碱溶性的影响．结果表明:通过调整分子外围的羧基及反应性甲基丙烯酰氧基含量,可以获得较好的碱溶性和光固化性能．