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超分辨近场结构中Bubble微结构的远场光学特性分析
被引量:
1
1
作者
瞿青玲
王阳
干福熹
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期177-180,共4页
以菲涅尔-基尔霍夫衍射理论为基础,建立了超分辨近场结构中Bubble微结构对高斯光束的衍射模型.分析了PtOx型超分辨近场结构(PtOx-Type-Super-RENS)中Bubble微结构的远场光学特性.结果表明,设计的Bubble微结构形成过程的简化模型可基本...
以菲涅尔-基尔霍夫衍射理论为基础,建立了超分辨近场结构中Bubble微结构对高斯光束的衍射模型.分析了PtOx型超分辨近场结构(PtOx-Type-Super-RENS)中Bubble微结构的远场光学特性.结果表明,设计的Bubble微结构形成过程的简化模型可基本反映超分辨近场结构中掩膜结构在激光作用下的结构变化过程,说明了高斯衍射模型是研究薄膜微结构变化的一种有效方法.
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关键词
超分辨近场结构(Super-RENS)
高斯衍射模型
bubble微结构
远场
下载PDF
职称材料
题名
超分辨近场结构中Bubble微结构的远场光学特性分析
被引量:
1
1
作者
瞿青玲
王阳
干福熹
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期177-180,共4页
基金
国家自然科学基金(60490290
60507009
60207005)资助
文摘
以菲涅尔-基尔霍夫衍射理论为基础,建立了超分辨近场结构中Bubble微结构对高斯光束的衍射模型.分析了PtOx型超分辨近场结构(PtOx-Type-Super-RENS)中Bubble微结构的远场光学特性.结果表明,设计的Bubble微结构形成过程的简化模型可基本反映超分辨近场结构中掩膜结构在激光作用下的结构变化过程,说明了高斯衍射模型是研究薄膜微结构变化的一种有效方法.
关键词
超分辨近场结构(Super-RENS)
高斯衍射模型
bubble微结构
远场
Keywords
Super-RENS
Gaussian diffraction model
Minute structural deformation
Far-field
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超分辨近场结构中Bubble微结构的远场光学特性分析
瞿青玲
王阳
干福熹
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
1
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