高次驻波谐振定量检测弹性板厚度的方法

基于声波高次谐振的频率偏移与弹性板厚度变化间的关系,提出一种定量检测弹性板厚度的新方法。针对最大有效机电耦合系数(ke2ff(max))对应的谐振模式,研究了弹性板厚度对最大有效机电耦合系数对应模式的谐振频率的影响,给出修正的频率偏移与厚度变化间的关系公式。相关数值计算表明,该方法的检测灵敏度可达50Hz/μm,可用于板厚及其变化的检测和板表面状况的无损评价。