高渗透刀轮切割TFT-LCD薄型玻璃基板的工艺影响因素

介绍了切割TFT-LCD薄型玻璃基板的高渗透刀轮和切断的基本概念,以及刀轮角度、切断压力、押入量和切断速度工艺参数对切断效果的影响。采用115°和125°两种不同角度的刀轮在切断速度400mm/s、刀轮押入量0.2mm的条件下进行切割,115°形成的垂直裂纹比125°要深;当其他条件一定时,垂直裂纹随切断压力的增大而增大,随押入量和切断速度的变化不大。