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题名延时电路在高温湿气环境中的腐蚀行为与机理研究
被引量:3
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作者
魏小琴
张伦武
肖勇
王艳艳
赵方超
王峙卫
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机构
西南技术工程研究所
华东光电集成器件研究所
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出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第7期197-202,共6页
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基金
国防技术基础科研项目(JSHS2015209B002)~~
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文摘
目的提高延时电路的贮存环境适应性。方法在80℃、90%RH的湿热条件下,开展延时电路实验室加速老化试验,分别在老化0、97、133 d时取样,检测电性能,分析电路外表面腐蚀损伤特征,测试内部缺陷和多余物,检查腔体密封性,定位失效部位,观测内部芯片腐蚀损伤特征,检测腐蚀产物,分析高温湿气对延时电路外引线-玻璃界面密封性失效与可伐合金基体腐蚀的作用机制。结果湿热老化133 d时,延时电路输出端3无输出波形。随湿热老化时间的延长,外引线-玻璃界面缝隙腐蚀程度逐渐加深,氦漏率单调上升,壳体密封性逐渐降低乃至失效。外界湿气进入延时电路内部,整个老化周期内部芯片无缺陷,但133 d时电路内腔出现多余物,位于第14外引脚引线柱边缘处,也是导通测试定位的失效点。该引线柱的可伐合金基体与其上的镀金层在高温湿气的作用下,由于电位差形成腐蚀电池,可伐合金作为阴极与湿气和氧发生电化学腐蚀,生成腐蚀产物并覆盖于镀金表面,导致第14外引脚与其上的金键合丝之间开路,延时电路失效。结论降低延时电路贮存环境湿度,同时改进生产工艺,在金属-玻璃封接界面形成一层厚度适当的致密氧化膜过渡层,可延缓湿气进入电路内部。增大可伐合金基体镀金层或镀镍层厚度,可减小基体发生电化学腐蚀几率,提高延时电路贮存环境适应性。
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关键词
可伐合金
延时电路
高温湿气环境
加速老化试验
腐蚀行为
腐蚀机理
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Keywords
Kovar alloy
delay circuit
high temperature and humidity environment
accelerated aging test
corrosion behavior
corrosion mechanism
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分类号
TG172
[金属学及工艺—金属表面处理]
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