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高温纯化设备真空气路优化解析
1
作者
吴忠举
白枭
+3 位作者
王晓峰
成洋洋
许河山
周社柱
《现代工业经济和信息化》
2022年第2期226-228,共3页
通过对现有国产高温纯化设备气场气路进行分析,对发现的问题进行优化处理,并根据新方案设计制造气场分气盘和气路,使国产高温纯化设备达到国外先进设备的纯化指标,满足我国三代半导体对于高纯度材料的要求。
关键词
三代半导体
高温纯化设备
纯化
气路优化
高纯材料
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职称材料
题名
高温纯化设备真空气路优化解析
1
作者
吴忠举
白枭
王晓峰
成洋洋
许河山
周社柱
机构
山西中电科新能源技术有限公司
出处
《现代工业经济和信息化》
2022年第2期226-228,共3页
文摘
通过对现有国产高温纯化设备气场气路进行分析,对发现的问题进行优化处理,并根据新方案设计制造气场分气盘和气路,使国产高温纯化设备达到国外先进设备的纯化指标,满足我国三代半导体对于高纯度材料的要求。
关键词
三代半导体
高温纯化设备
纯化
气路优化
高纯材料
Keywords
third-generation semiconductor
high temperature purification equipment
purification gas path optimization
high-purity materials
分类号
TB657.9 [一般工业技术—制冷工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
高温纯化设备真空气路优化解析
吴忠举
白枭
王晓峰
成洋洋
许河山
周社柱
《现代工业经济和信息化》
2022
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