高温超导本征结加工中的氩离子铣技术

最近,用高温超导单晶Bi2Sr2CaCu2O8+x制备本征结器件从而实现太赫兹辐射源的研究有较大突破,而本征结器件的样品制作仍需细致而深入的研究.为此我们首先借助于单晶硅,制作了矩形的高台(mesa)结构,观测了在不同离子加速电压和不同离子束入射角度下,氩离子铣的刻蚀速度和刻蚀形成台阶侧壁的形貌,给出了一种刻蚀速率高、台阶侧壁陡峭、对样品损伤小的刻蚀方案,用此方法加工出的高温超导本征结器件在一定条件下可以得到太赫兹辐射信号.