高温超导薄膜红外探测器研究

文章系统阐述了高Tcbolometer的工作原理及性能优势;简要介绍了采用负胶光刻和湿法(化学)刻蚀技术在5×10mm2GdBa2Cu3O7-x薄膜上制备2×2阵列高Tcbolometer器件的工艺过程;并对此工艺优劣性进行了分析。

红外技术及器件

TN213 97063897碲镉汞晶片少数载流子寿命面分布的自动测试技术=Automatic measurement technology for thearea distribution of the minority carrier lifetimeof HgCdTe wafer[刊,中]/龚海梅,李言谨,胡晓宁,靳秀芬,宣荣伟,朱龙源。