氮化铝高温隧道烧结炉设计及试验研究

针对以“新基建”为代表的通信领域对高功率、高性能电子元器件的需求,阐述了氮化铝陶瓷基板的优点和工艺复杂性;针对性开发高温烧结设备,并据此进行氮化铝陶瓷高温烧结工艺试验,分析了升降温速率、气氛场、烧结温度和时间等因素对高温烧结产品性能的影响。