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通用工艺与设备
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《电子科技文摘》 1999年第7期32-38,共7页
Y98-61497-14 9909086采用条状模块冗余技术的高集成度工艺控制的优势和不足=High integrity process control using triple modularredundancy technique:advantages and limitations[会,英]/Zayegh,A.& Thomson,M.//1997 3rd Inte... Y98-61497-14 9909086采用条状模块冗余技术的高集成度工艺控制的优势和不足=High integrity process control using triple modularredundancy technique:advantages and limitations[会,英]/Zayegh,A.& Thomson,M.//1997 3rd Interna- 展开更多
关键词 工艺与设备 冗余技术 工艺控制 工业科技 高真空正压烧结炉 集成度 工艺研究 传感器技术 机械 薄膜
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