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基于柱状电弧靶的高沉积率真空多弧离子镀装备设计
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作者 董小虹 卢泽坚 +1 位作者 常玉敏 万庆海 《机电工程技术》 2023年第11期266-268,308,共4页
涡轮涡扇发动机叶片、汽轮机叶片、压铸模具、轴承等零件的耐磨和耐热性能都需要50~100μm的耐热和耐磨涂层,而目前国内真空电弧离子镀设备的沉积效率一般在4~8μm/h,无法满足一次50μm以上的涂层要求。介绍一种特殊设计的柱状电弧靶,... 涡轮涡扇发动机叶片、汽轮机叶片、压铸模具、轴承等零件的耐磨和耐热性能都需要50~100μm的耐热和耐磨涂层,而目前国内真空电弧离子镀设备的沉积效率一般在4~8μm/h,无法满足一次50μm以上的涂层要求。介绍一种特殊设计的柱状电弧靶,两端连接到高电压大电流的弧电源上,通过PLC控制系统反复进行正负极输入切换改变作用在柱状阴极靶靶面的电磁场方向,使处于靶面的弧斑沿着柱状靶面作向上或向下螺旋运动,从而形成弧斑在柱状阴极靶的靶面作上下反复螺旋运动,使阴极靶面上的材料高速离化,并通过工件与炉壳之间的偏压将靶材形成的等离子体引向工件表面,形成工件表面快速循环沉积结构,使工件表面最终快速的获得厚涂层,同时极大提高了靶材利用率,从而节约成本。该装置可在复杂的零件表面快速一次性沉积形成高效率(15~20μm/h)、低成本、高性能的较厚涂层,涂层厚度可达50~100μm。该厚涂层性能能够满足飞机发动机叶片、汽轮机叶片、压铸模具、轴承等零件的耐磨和耐热性能要求。 展开更多
关键词 柱状电弧 沉积率 真空多弧离子镀装备
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第二十讲 真空离子镀膜
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作者 张以忱 《真空》 CAS 2019年第5期85-88,共4页
13 真空阴极电弧离子镀13.l 概述真空阴极电弧离子镀简称真空电弧镀(Vacuum arc plating)。如采用两个或两个以上真空电弧蒸发源(简称电弧源)时,则称为多弧离子镀或多弧镀。它是把真空弧光放电用于蒸发源的一种真空离子镀膜技术,它与空... 13 真空阴极电弧离子镀13.l 概述真空阴极电弧离子镀简称真空电弧镀(Vacuum arc plating)。如采用两个或两个以上真空电弧蒸发源(简称电弧源)时,则称为多弧离子镀或多弧镀。它是把真空弧光放电用于蒸发源的一种真空离子镀膜技术,它与空心阴极放电的热电子电弧不同,它的电弧形式是在冷阴极表面上形成阴极电弧斑点。真空阴极电弧离子镀的特点是:①蒸发源为固体阴极靶,从阴极靶源直接产生等离子体,不用熔池,电弧靶源可任意方位、多源布置以保证镀膜均匀;②设备结构较简单,不需要工作气体,也不需要辅助的离子化手段,电弧靶源既是阴极材料的蒸发源,又是离子源;而在进行反应性沉积时仅有反应气体存在,气氛的控制仅是简单的全压强控制;③离化率高,一般可达60%~80%,沉积速率高;④入射离子能量高,沉积膜的质量和膜/基结合力好;⑤采用低电压电源工作,较为安全。 展开更多
关键词 阴极电弧离子镀 弧光放电 多弧离子镀 阴极斑点 真空电弧 阴极弧斑 真空离子镀
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真空电弧的特点及几种常用金属的真空电弧现象 被引量:3
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作者 贾工普 陈辉 朱英臣 《真空》 CAS 北大核心 1995年第4期28-32,共5页
真空电弧技术愈来愈广泛地应用于离子镀技术.但由于不同的阴极材料的固有性质不同,真空电弧现象也不同.为能更好地将真空电弧应用于离子涂复技术,本文较简洁地介绍了真空电弧特点及一些金属和合金的真空电弧现象.
关键词 真空电弧 阴极斑点 离子镀 气体放电
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铸态和烧结态AlCoCrFeNi高熵合金模拟海水腐蚀性能研究 被引量:2
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作者 熊艳杰 徐大鹏 +1 位作者 程赵辉 魏敬鹏 《西安工业大学学报》 CAS 2020年第1期76-81,共6页
为了研究铸态和烧结态AlCoCrFeNi高熵合金在模拟海水介质下的电化学腐蚀性能,采用真空电弧熔炼和放电等离子烧结工艺制备AlCoCrFeNi高熵合金,分别采用X射线衍射仪(XRD)和光学显微镜(OM)分析其相结构和微观组织,采用电化学工作站对其进... 为了研究铸态和烧结态AlCoCrFeNi高熵合金在模拟海水介质下的电化学腐蚀性能,采用真空电弧熔炼和放电等离子烧结工艺制备AlCoCrFeNi高熵合金,分别采用X射线衍射仪(XRD)和光学显微镜(OM)分析其相结构和微观组织,采用电化学工作站对其进行电化学试验测试。研究结果表明:AlCoCrFeNi铸态合金组织呈现等轴晶形貌,物相为单一BCC结构;烧结态合金组织呈球形形貌,在900℃的烧结温度下,除了BCC相,还出现极少量的B2相以及FCC相。烧结态和铸态自腐蚀电位分别为-0.5354 V和-0.6676 V,自腐蚀电流密度分别为2.9149×10^-5 A·cm^-2和2.1504×10^-5 A·cm^-2,铸态合金的钝化区比烧结态宽。2种合金均只出现一个容抗弧,且铸态合金的容抗弧半径远大于烧结态合金,表明铸态合金的耐蚀性优于当前烧结温度下的烧结态合金。 展开更多
关键词 真空电弧熔炼 放电离子烧结 熵合金 模拟海水 电化学腐蚀
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Development of a high current short pulse electron gun
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作者 宗阳 张子民 +7 位作者 袁平 申晓康 赵全堂 王燕茹 李中平 曹树春 刘铭 景漪 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2014年第3期43-46,共4页
Dielectric wall accelerator(DWA), towards high gradient acceleration field(30 MeV/m–100 MeV/m), is under development at Institute of Modern Physics. A prototype was designed and constructed to prove the principle. Th... Dielectric wall accelerator(DWA), towards high gradient acceleration field(30 MeV/m–100 MeV/m), is under development at Institute of Modern Physics. A prototype was designed and constructed to prove the principle. This needs a short pulse high current electron source to match the acceleration field generated by the Blumlein-type pulse forming lines(PFLs). In this paper, we report the design and test of a new type short pulse high current electron gun based on principle of vacuum arc discharge. Electron beams of 100 mA with pulse width of 10 ns were obtained. 展开更多
关键词 电子枪 短脉冲 电流 近代物理研究所 脉冲形成线 加速度场 放电原理 真空电弧
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新型透明导电膜
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作者 桂会举 程绍荣 《科技开发动态》 1994年第3期47-48,共2页
关键词 透明导电膜 潜望镜 高真空电弧放电离子镀 电阻值 热窗
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