微电子机械系统的新制造工艺技术(英文)

随着微电子机械系统新应用的不断推出,使得特殊制造工艺技术得到空前的发展。在过去的10年里,汽车是微电子机械系统产品商业化的推动力。如今,我们进入了以消费品和信息技术的产品占很高份额的微电子机械系统生产制造的新时代,如微射流器件,微光电子机械系统,射频微电子机械系统,非汽车应用加速度器和陀螺等。阐述用于商业化的如上所述器件的新制造工艺技术,即用全自动轨道传送光刻系统来实现低成本的紫外线光刻工艺,以及用于加速度器和陀螺等消费品的高真空键合制造工艺技术。