气体静压节流器高准确度气压源的研制

高压气体润滑方式在超精密领域得到了广泛应用。传统的气压源存在供气量少或稳定性差的缺点，难以满足当前气体静压节流器所需的高压力稳定度的气源要求，为此采用二级串联控制方法以及模糊PID算法设计了一种仪用高稳定度气压源系统。首先对该系统的软、硬件设计方案进行了简单介绍，其次对气压源整体性能进行了相关实验。实验结果表明：当气体流量在0～15L／min范围时，该系统可获得高稳定的气体压力，且相对误差小于1．14％。