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高端精密装备精度测量基础理论与方法
被引量:
9
1
作者
谭久彬
蒋庄德
+12 位作者
雒建斌
叶鑫
邾继贵
刘小康
刘巍
李宏伟
谈宜东
胡鹏程
胡春光
杨凌辉
赖一楠
苗鸿雁
王岐东
《中国科学基金》
CSSCI
CSCD
北大核心
2022年第6期955-962,共8页
完整而精确的测量信息获取是装备设计优化、制造过程调控和服役状态保持的基础,是实现重大装备“上水平”“高性能”的内在要素。本文分析了我国高端精密装备精度测量基础理论发展所面临的重大需求挑战,总结了当前高端精密装备制造精度...
完整而精确的测量信息获取是装备设计优化、制造过程调控和服役状态保持的基础,是实现重大装备“上水平”“高性能”的内在要素。本文分析了我国高端精密装备精度测量基础理论发展所面临的重大需求挑战,总结了当前高端精密装备制造精度测量理论、方法与技术领域的主要进展,凝炼了该领域未来5~10年的重大关键科学问题,探讨了前沿研究方向和科学基金资助战略。
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关键词
精密
测量
高端精密装备
可溯源
极限测量
多场耦合测量
半导体测量
大尺寸测量
原文传递
题名
高端精密装备精度测量基础理论与方法
被引量:
9
1
作者
谭久彬
蒋庄德
雒建斌
叶鑫
邾继贵
刘小康
刘巍
李宏伟
谈宜东
胡鹏程
胡春光
杨凌辉
赖一楠
苗鸿雁
王岐东
机构
哈尔滨工业大学仪器科学与工程学院
西安交通大学机械工程学院
清华大学机械工程系
国家自然科学基金委员会工程与材料科学部
天津大学精密仪器与光电子工程学院
重庆理工大学机械工程学院
大连理工大学机械工程学院
清华大学精密仪器系
出处
《中国科学基金》
CSSCI
CSCD
北大核心
2022年第6期955-962,共8页
文摘
完整而精确的测量信息获取是装备设计优化、制造过程调控和服役状态保持的基础,是实现重大装备“上水平”“高性能”的内在要素。本文分析了我国高端精密装备精度测量基础理论发展所面临的重大需求挑战,总结了当前高端精密装备制造精度测量理论、方法与技术领域的主要进展,凝炼了该领域未来5~10年的重大关键科学问题,探讨了前沿研究方向和科学基金资助战略。
关键词
精密
测量
高端精密装备
可溯源
极限测量
多场耦合测量
半导体测量
大尺寸测量
Keywords
accuracy measurement
high-end precision equipment
traceability
extreme measurement
multi-field coupling measurement
semiconductor measurement
large-scale measurement
分类号
TG806 [金属学及工艺—公差测量技术]
原文传递
题名
作者
出处
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被引量
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1
高端精密装备精度测量基础理论与方法
谭久彬
蒋庄德
雒建斌
叶鑫
邾继贵
刘小康
刘巍
李宏伟
谈宜东
胡鹏程
胡春光
杨凌辉
赖一楠
苗鸿雁
王岐东
《中国科学基金》
CSSCI
CSCD
北大核心
2022
9
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