高等别线纹尺校准装置及校准方法研究

高等别线纹尺广泛用于精密加工及精密测量设备的定位、标定及校准等。为满足长三角地区高端装备制造业对高等别线纹尺的量值溯源需求,提升地方计量机构的量传能力,研制开发了新的激光干涉比长仪装置。在主体结构设计、激光干涉测长、环境监测与补偿等方面进行了精心设计,并利用基准尺等多种仪器,对装置各部分的计量特性进行校准及实验测试。测试结果表明,该装置校准线纹尺达到了基准级的测量精度。

基于CCD传感器的高等别线纹尺检定装置研制

高等别线纹尺作为光学影像仪器的校准工具应用广泛,现有的高等别线纹尺检定装置存在造价昂贵,效率较低等问题,为此本文介绍了基于CCD传感器的高等别线纹尺校准装置研制方案,并通过方法验证确认本方案的可靠性。