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蓝宝石衬底表面的高精密加工工艺
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作者 牛新环 檀柏梅 +1 位作者 赵晓宏 刘玉岭 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第z1期48-51,共4页
为了获得优化的CMP参数变化,对实验进行了设计,并采用CMP方法在C6382I-W/YJ单面抛光机上对蓝宝石衬底表面进行了加工.根据蓝宝石衬底特性,选择了碱性抛光液,并选用SiO2胶体作为磨料.依据高去除的目的,对如底盘转速、抛光液流量、温度及... 为了获得优化的CMP参数变化,对实验进行了设计,并采用CMP方法在C6382I-W/YJ单面抛光机上对蓝宝石衬底表面进行了加工.根据蓝宝石衬底特性,选择了碱性抛光液,并选用SiO2胶体作为磨料.依据高去除的目的,对如底盘转速、抛光液流量、温度及压力等不同工艺参数进行了研究.根据实验结果,确定了蓝宝石衬底表面的CMP最佳工艺参数. 展开更多
关键词 蓝宝石衬底 高精密加工 化学机械抛光 碱性抛光液 工艺
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高精密卧式加工中心结构的保质设计 被引量:3
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作者 韩玉勇 苗付标 +1 位作者 李自强 杨朝全 《机床与液压》 北大核心 2016年第4期24-26,共3页
以高精密卧式加工中心关键部件的设计为例,阐述了保质设计通用技术及模块化产品通用规划设计技术在高精密制造加工设备设计中的应用。
关键词 高精密加工中心 结构优化 保质设计
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高效率的高精密平面加工——访彼特沃尔特斯中国总经理及首席代表熊华先生
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作者 冯建平 MM 《现代制造》 2003年第5期20-22,24,共3页
德国彼特沃尔特斯公司(Peter Wolters)是专门从事工件平面表面精密加工的世界知名企业,近年来在中国的知名度不断提高并且取得令人满意的业绩。
关键词 德国彼特沃尔特斯公司 精密平面加工 熊华 总经理
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注塑成型模具在高精密连接器加工中的应用
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作者 朱钦奇 《今日自动化》 2022年第7期15-17,共3页
注塑模具的设计是整个塑料产品研发与制造的关键,制造商和设计者要不断地改进其设计,合理、规范地进行技术创新,在科研中不断地加强对注塑模具的科学研究,积极借鉴国际、国内成功的案例与成功经验,不断完善注塑模具的技术,使其在技术上... 注塑模具的设计是整个塑料产品研发与制造的关键,制造商和设计者要不断地改进其设计,合理、规范地进行技术创新,在科研中不断地加强对注塑模具的科学研究,积极借鉴国际、国内成功的案例与成功经验,不断完善注塑模具的技术,使其在技术上不断创新,从而提高产品的市场竞争力,为公司创造更加可观的经济效益。文章主要对高精密连接器加工中的注塑成型模具实践和优化工艺进行了深入的分析和研究。 展开更多
关键词 注塑成型 高精密加工 连接器
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基于有限元分析的高精密柔性夹具优化方案设计 被引量:4
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作者 刘东红 赵建才 张翊翔 《工程设计学报》 CSCD 北大核心 2010年第3期190-195,共6页
针对高精密加工过程中柔性夹具的变形问题进行理论计算和实验分析.首先应用CAE软件对现有柔性夹具进行有限元分析,分析夹具变形问题.然后通过CAD软件改变该夹具模型的结构参数和尺寸参数,优化夹具构造,以减少定位过程的夹具变形,并再次... 针对高精密加工过程中柔性夹具的变形问题进行理论计算和实验分析.首先应用CAE软件对现有柔性夹具进行有限元分析,分析夹具变形问题.然后通过CAD软件改变该夹具模型的结构参数和尺寸参数,优化夹具构造,以减少定位过程的夹具变形,并再次通过CAE软件进行分析,验证优化效果.通过增加夹具体主平面刚度、增加夹具体肋板刚度和改变夹具定位点位置等方法,实现夹具体的最大变形量满足加工精度的要求.实验分析以定位点变形为研究对象,测量得到4个定位点在夹具装夹过程中的变形量.实验结果基本符合理论计算结果,得到最终优化方案的4个定位点变形量均小于0.01 mm,满足了该高精密加工中对夹具体的精度要求.优化方案在实际生产中得到实施,效果良好. 展开更多
关键词 高精密加工 柔性夹具 数字化设计 有限元分析 夹具变形
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光电测量技术的车床加工研究
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作者 徐鹤雷 《南方农机》 2018年第16期99-99,共1页
我国现代化建设不断推进,对我国制造业也提出更高、更多地要求。目前制造业的发展向着更加高精度的方向进行,这对机械制造业的精度测量技术与机床加工技术提出了更高要求。本文主要介绍光电测量技术在车床加工的应用,研究其技术优势与... 我国现代化建设不断推进,对我国制造业也提出更高、更多地要求。目前制造业的发展向着更加高精度的方向进行,这对机械制造业的精度测量技术与机床加工技术提出了更高要求。本文主要介绍光电测量技术在车床加工的应用,研究其技术优势与必要性,对出现的技术问题进行探讨,最提出一定建议。 展开更多
关键词 光电测量技术 机床加工 高精密加工 机械制造
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高性能倍半氧化物激光晶体生长及制造工艺与装备
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作者 赖敏 《天津科技》 2016年第12期23-24,共2页
发展高端激光制造技术与装备可促进我国传统制造业转型升级。由天津大学牵头的国家重点研发项目"高性能倍半氧化物激光晶体生长及制造工艺与装备"针对性能优良的大尺寸、高熔点倍半氧化物晶体生长工艺与集成装备,及硬脆激光... 发展高端激光制造技术与装备可促进我国传统制造业转型升级。由天津大学牵头的国家重点研发项目"高性能倍半氧化物激光晶体生长及制造工艺与装备"针对性能优良的大尺寸、高熔点倍半氧化物晶体生长工艺与集成装备,及硬脆激光晶体的高效低损伤超精密磨削、抛光工艺与装备等研发难题,开展晶体生长、加工工艺和装备的重大共性关键技术研究。项目预期发展具有自主知识产权、国际先进水平的大尺寸、高熔点倍半氧化物晶体的生长工艺及装备、加工工艺及装备。研制出的高精度大径厚比倍半氧化物激光晶体元件为高功率先进激光器提供核心元件,将会在增材制造、激光制造、信息产业等国家需求的重点领域开拓战略性的新兴产业。 展开更多
关键词 激光制造倍半氧化物晶体熔点晶体生长硬脆材料超精密加工表面完整性端装备
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氧化锆添加量对四氧化三铁基复合材料性能的影响 被引量:2
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作者 张莲芝 吴张永 +4 位作者 王庭有 朱启晨 郭翠霞 蔡晓明 莫子勇 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期6035-6041,共7页
采用高能球磨法制备Fe_(3)O_(4)/ZrO_(2)复合磁性颗粒,对复合磁性颗粒的包覆机理进行深入研究。通过XRD、FT-IR、VSM、SEM等测试手段对样品的结构、光学性质、磁性能和形貌等进行表征,并将各性能进行定性和定量分析。结果表明:当ZrO_(2... 采用高能球磨法制备Fe_(3)O_(4)/ZrO_(2)复合磁性颗粒,对复合磁性颗粒的包覆机理进行深入研究。通过XRD、FT-IR、VSM、SEM等测试手段对样品的结构、光学性质、磁性能和形貌等进行表征,并将各性能进行定性和定量分析。结果表明:当ZrO_(2)含量为2.13%时,Fe_(3)O_(4)/ZrO_(2)复合材料摩擦因数的波动最稳,其硬度达最大值10.01 GPa;此外,随着ZrO_(2)含量的增加,样品的比饱和磁化强度和剩余磁化强度明显降低,复合磁性颗粒的粒径越来越大,并且出现ZrO_(2)颗粒的团聚现象。对于表面活性剂,相比于PEG2000,CTAB能使Fe_(3)O_(4)/ZrO_(2)复合磁性颗粒桥接更紧密、性能更好。因此,在表面活性剂CTAB的修饰下,ZrO_(2)加入量为2.13%时,可使Fe_(3)O_(4)/ZrO_(2)复合磁性颗粒有较好的综合性能。 展开更多
关键词 复合材料 表面活性剂 磁性磨粒 复合加工 高精密加工
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微孔气流加压对ITO玻璃激光刻蚀平面度的影响 被引量:2
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作者 陈绒 陈钊杰 谢晋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第13期1564-1571,共8页
针对ITO玻璃表面线路激光刻蚀中因定位问题玻璃工件产生的微变形,采用微孔陶瓷对工件进行微气流阵列加压,确保高精度的激光刻蚀加工。分析不同加工工艺下的微气流压力分布,探究气流压力和刻蚀间隙对ITO玻璃刻蚀表面平面度的作用机制。... 针对ITO玻璃表面线路激光刻蚀中因定位问题玻璃工件产生的微变形,采用微孔陶瓷对工件进行微气流阵列加压,确保高精度的激光刻蚀加工。分析不同加工工艺下的微气流压力分布,探究气流压力和刻蚀间隙对ITO玻璃刻蚀表面平面度的作用机制。结果表明:经微孔气流加压后,工件在气体流动的区域受到正压力,加工区域的压力分布较为均匀。由此可知,工件表面受到均布气压有利于刻蚀表面的定位,但过大的压力会导致工件微变形。实验结果显示:在合适的压力下,微孔气流加压可使得平面度低至8μm,当压力在0.16-0.2 kPa,刻蚀间隙在1.8-1.9 mm时,工件表面压力为13.2-14.4 Pa,此时平面度最好,微米尺度的刻蚀线路清晰,不产生破损。最后,对微孔气流加压的ITO玻璃进行激光刻蚀加工,可得到8μm以及25μm的表面微细线路,解决了通常无微孔气流加压的刻蚀工艺导致局部断点或变形线路引起产品短路或开路等问题。 展开更多
关键词 激光刻蚀 微孔气流 ITO玻璃 刻蚀工艺 高精密加工
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折叠作动筒组件加工工艺性研究
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作者 丁云清 汪洋 《昌河科技》 2008年第4期7-13,共7页
本文从折叠作动筒零件加工及组件装配入手,简要地介绍折叠作动筒的工作原理及其用途,对折叠作动筒零件加工过程中采用的新工艺、新方法、新技术及装配、试验等问题进行了较为详细的论述;同时针对几种典型零件加工精度提高、加工质量... 本文从折叠作动筒零件加工及组件装配入手,简要地介绍折叠作动筒的工作原理及其用途,对折叠作动筒零件加工过程中采用的新工艺、新方法、新技术及装配、试验等问题进行了较为详细的论述;同时针对几种典型零件加工精度提高、加工质量保证的主要技术难点,提出了解决方案。 展开更多
关键词 折叠作动筒 精密数控加工 硬质阳极化
原文传递
Geoid Deformation and Elevation Influence Caused by Building Loading
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作者 王解先 季善标 +1 位作者 曹月玲 余美义 《Geo-Spatial Information Science》 2009年第2期154-156,共3页
The paper studies the ground vertical deformation and the geoid undulation caused by loading of neighboring buildings, based on the loading tides theory. The influence on elevation is also considered. The results show... The paper studies the ground vertical deformation and the geoid undulation caused by loading of neighboring buildings, based on the loading tides theory. The influence on elevation is also considered. The results show that the ground vertical deformation and the geoid undulation both reach millimeter magnitude. Therefore, it is obvious that the building loading significantly affects the precise engineering surveying, and it must be seriously considered in application. 展开更多
关键词 loading tides building loading ground deformation geoid undulation
原文传递
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