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高精密清洗技术在OLED制备过程中的应用
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作者 施利君 胡磊 《中国洗涤用品工业》 CAS 2022年第12期75-79,共5页
在OLED生产过程中,需要多次使用到清洗工艺,清洗后基板的洁净度将决定OLED的良率。随着OLED显示屏行业的发展,对清洗工艺及设备的要求越来越严格,制造过程的清洗皆为精密清洗,为了达到良好的清洗效果,必须不断提高洁净技术。
关键词 OLED 高精密清洗 清洗方法
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