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高精密清洗技术在OLED制备过程中的应用
1
作者
施利君
胡磊
《中国洗涤用品工业》
CAS
2022年第12期75-79,共5页
在OLED生产过程中,需要多次使用到清洗工艺,清洗后基板的洁净度将决定OLED的良率。随着OLED显示屏行业的发展,对清洗工艺及设备的要求越来越严格,制造过程的清洗皆为精密清洗,为了达到良好的清洗效果,必须不断提高洁净技术。
关键词
OLED
高精密清洗
清洗
方法
下载PDF
职称材料
题名
高精密清洗技术在OLED制备过程中的应用
1
作者
施利君
胡磊
机构
苏州晶洲装备科技有限公司
出处
《中国洗涤用品工业》
CAS
2022年第12期75-79,共5页
文摘
在OLED生产过程中,需要多次使用到清洗工艺,清洗后基板的洁净度将决定OLED的良率。随着OLED显示屏行业的发展,对清洗工艺及设备的要求越来越严格,制造过程的清洗皆为精密清洗,为了达到良好的清洗效果,必须不断提高洁净技术。
关键词
OLED
高精密清洗
清洗
方法
Keywords
OLED
precision cleaning
cleaning process
分类号
TQ649 [化学工程—精细化工]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高精密清洗技术在OLED制备过程中的应用
施利君
胡磊
《中国洗涤用品工业》
CAS
2022
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