高精密运动台直线电机温度模拟与实验研究

介绍了半导体装备领域高精密运动台直线电机组成,指出电机散热对运动精度的影响。通过实验验证了直线电机在180 W工况下采用代表性体积单元(RVE)模型得到的线圈等效导热系数的正确性,可以为不同工况下仿真计算直线电机的温升提供参考依据。通过直线电机表面温度的实验数据与仿真数据对比研究,二者线圈正面最大温度误差小于10%,冷却水出口温度误差为0.09‰。同时模拟了仿真模型和等效导热系数的相关性,为高精密运动台直线电机温度模拟提供了参考。