高精度测量的被动隔振研究

随着精密测量设备的快速发展,对其隔振系统的要求也越来越高。隔振系统也越来越显示出其重要性。许多精密设备所达到的分辨力被周围环境的振动所限制,没有一个好的隔振系统,测量过程中任何精密动作都难于实现。本文对常用的被动隔振系统进行了分析,以恒温恒湿工作腔体内工作台为隔振对象,设计了一两级隔振系统,并进行了MATLAB仿真分析。