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一种用于高精度电容传感器电路的三级运算放大器 被引量:2
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作者 任臣 杨拥军 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第4期325-331,共7页
为提高电容式传感器专用集成电路(ASIC)的检测精度,设计了一种三级运算放大器电路。该放大器电路为全差分实现形式,采用三级共源放大器级联结构,使用密勒补偿并调整零点抵消高频极点,以保证放大器的稳定性。该放大器电路基于0.18μm标准... 为提高电容式传感器专用集成电路(ASIC)的检测精度,设计了一种三级运算放大器电路。该放大器电路为全差分实现形式,采用三级共源放大器级联结构,使用密勒补偿并调整零点抵消高频极点,以保证放大器的稳定性。该放大器电路基于0.18μm标准CMOS工艺设计实现,工作电压为1.8 V,工作电流为80μA。电路仿真结果显示:三级运算放大器的直流增益为118 dB,单位增益频率为73 MHz,噪声水平为0.21μV/√Hz。芯片测试结果表明,采用该放大器的电容传感器电路前端的非线性优于6×10^(-5)。该放大器功耗低、面积小、可靠性好,在工程上实现了较优的综合性能。 展开更多
关键词 专用集成电路(ASIC) 微电子机械系统(MEMS) 三级运算放大器 密勒补偿 高精度电容传感器
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高精度电容测微系统相关电路设计
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作者 李文萍 《电子技术与软件工程》 2016年第19期139-139,共1页
为了能够进一步提高重力仪电容测微系统的测量精度与动态特性,本文对高精度电容测微系统相关电路设计进行了具体研究,而这一研究使得电容测微系统具备了更便利的操作性以及更强的数据处理、分析功能,由此就可以看出本文研究的可行性。
关键词 精度电容位移传感器 重力仪电容测微系统 电路设计
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