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激光晶体生长炉高精度晶体称重装置设计
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作者 左海涛 纪文刚 +1 位作者 李建鸿 张睿平 《化工机械》 CAS 2019年第2期187-191,共5页
针对激光晶体生长过程中晶体重量增长缓慢、现有称重装置精确度不高的问题,设计了一种用于激光晶体生长炉的高精度晶体称重装置。实测结果表明,该称重装置结构简单合理,机械结构的强度和刚度满足要求,与激光晶体生长炉适配性高,稳定性好... 针对激光晶体生长过程中晶体重量增长缓慢、现有称重装置精确度不高的问题,设计了一种用于激光晶体生长炉的高精度晶体称重装置。实测结果表明,该称重装置结构简单合理,机械结构的强度和刚度满足要求,与激光晶体生长炉适配性高,稳定性好,大幅提高了晶体称量精度。 展开更多
关键词 高精度称重装置 激光晶体生长炉 机械结构 有限元分析 控制系统
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