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激光晶体生长炉高精度晶体称重装置设计
1
作者
左海涛
纪文刚
+1 位作者
李建鸿
张睿平
《化工机械》
CAS
2019年第2期187-191,共5页
针对激光晶体生长过程中晶体重量增长缓慢、现有称重装置精确度不高的问题,设计了一种用于激光晶体生长炉的高精度晶体称重装置。实测结果表明,该称重装置结构简单合理,机械结构的强度和刚度满足要求,与激光晶体生长炉适配性高,稳定性好...
针对激光晶体生长过程中晶体重量增长缓慢、现有称重装置精确度不高的问题,设计了一种用于激光晶体生长炉的高精度晶体称重装置。实测结果表明,该称重装置结构简单合理,机械结构的强度和刚度满足要求,与激光晶体生长炉适配性高,稳定性好,大幅提高了晶体称量精度。
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关键词
高精度称重装置
激光晶体生长炉
机械结构
有限元分析
控制系统
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职称材料
题名
激光晶体生长炉高精度晶体称重装置设计
1
作者
左海涛
纪文刚
李建鸿
张睿平
机构
北京石油化工学院自动化系
北京化工大学信息科学与技术学院
出处
《化工机械》
CAS
2019年第2期187-191,共5页
文摘
针对激光晶体生长过程中晶体重量增长缓慢、现有称重装置精确度不高的问题,设计了一种用于激光晶体生长炉的高精度晶体称重装置。实测结果表明,该称重装置结构简单合理,机械结构的强度和刚度满足要求,与激光晶体生长炉适配性高,稳定性好,大幅提高了晶体称量精度。
关键词
高精度称重装置
激光晶体生长炉
机械结构
有限元分析
控制系统
Keywords
weighing device with high precision
crystal growth furnace
mechanical structure
finite element analysis
control system
分类号
TQ056.19 [化学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
激光晶体生长炉高精度晶体称重装置设计
左海涛
纪文刚
李建鸿
张睿平
《化工机械》
CAS
2019
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