高精度超薄水晶片表面超声磨削机理的研究

高精度超薄水晶片的加工效率、表面损伤及翘曲变形等问题,一直是从事该方面研究和生产的难题之一。本文利用超声加工宏观磨削力、磨削应力、磨削热小,对加工材料表面损伤低的特点,再结合相关磨料对高精度超薄水晶片表面进行超声磨削加工。在工作机理研究的基础上,对超薄水晶片超声磨削进行了实验研究,优化了其工作参数,获得了满意的效果,为该技术的实际应用奠定了理论与实验基础。