谐振式MEMS生物传感器系统检测电路设计

文中提出了一种基于MEMS悬臂梁的生物检测系统。针对多通道MEMS悬臂梁阵列传感芯片响应迅速、灵敏度高、输出信号微弱等特点,设计了基于两级放大电路、锁相环及等精度计数的低噪声、高稳定性的信号处理与频率检测电路;构建了基于蠕动泵、气泵与MCU控制电路的微流体驱动控制系统,该系统具有体积小、精度高、功耗低等特点。测试结果表明,该生物检测系统对生物样品检测具有良好的准确性和重复性,开环测试误差小于±0.3 Hz,闭环误差小于±0.002 Hz,微流体控制精度最小可达0.247μL。