深空探测天线高精度控制方法研究

深空探测天线波束宽度很窄,测量精度要求高,介绍了深空探测天线的高精度跟踪与指向的关键技术,针对天线控制系统性能要求高这一难点,提出了新的技术方案与实施途径。

基于键合机的运动控制系统设计

提出了一种基于DSP+FPGA的键合机运动控制系统设计方案,实现了对键合机平台中直线电机的高速高精运动控制。对该高速高精运动控制系统的整体结构做出了的介绍,对系统中的DSP控制器子系统、数据交换通道、FPGA器件等模块的系统功能、硬件设计实现方式、系统的软件体系结构等方面进行了比较详细分析和论述。该系统具有开放式的系统结构,提供有效的人机交互接口,采用PID算法,具有较好的稳定性和较高的精度。

步进扫描投影光刻机同步机制研究

分析了步进扫描投影光刻机的同步运动过程,将各个分系统分为同步主系统和同步从系统,采用串行同步总线实现了同步主系统的状态发布;分析了分系统与自身数据采集系统的同步通信,采用高速串行传输链路实现了分系统与远程数据采集系统的数据采集与通信;搭建了同步实验平台,对步进扫描投影光刻机的同步机制进行了验证。实验证明该平台稳定可靠,满足系统同步性能要求和工程要求。