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直线电机高速高精运动分段式三元复合控制
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作者 汪惟桢 张驰 +3 位作者 李荣 桑娜 潘春荣 郑林卫 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2024年第1期114-117,122,共5页
针对半导体键合机XY运动平台的直线电机在高速启停运动时残余振动较大的问题,提出了一种分段式三元复合控制方法以提高直线电机的定位精度。首先,基于正弦扫频的方法建立了直线电机被控对象的高阶精确模型;其次,在直线电机的高速运动阶... 针对半导体键合机XY运动平台的直线电机在高速启停运动时残余振动较大的问题,提出了一种分段式三元复合控制方法以提高直线电机的定位精度。首先,基于正弦扫频的方法建立了直线电机被控对象的高阶精确模型;其次,在直线电机的高速运动阶段采用三阶前馈控制与PID反馈控制结合的复合控制方法,实现了高动态响应;分析了高速运动状态下扰动观测器对动态性能的影响,在定位阶段引入高阶扰动观测器以抑制残余振动。实验结果表明,与传统的“前馈+反馈”复合控制方法相比,分段式三元复合控制方法在不影响直线电机动态跟踪性能的情况下,使其定位误差调整至±0.5μm所需的时间降低了89%以上,显著提高了其定位精度。 展开更多
关键词 永磁同步直线电机 高速高精运动 残余振动抑制 高阶扰动观测器 分段式三元复合控制
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FPGA在高速高精运动控制系统中的应用 被引量:3
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作者 黄涛 程鑫 《武汉理工大学学报(信息与管理工程版)》 CAS 2007年第2期28-31,共4页
介绍了FPGA器件在高速高精运动控制系统中的应用。在该系统中通过FPGA器件实现了对直线电机各轴位置的精确反馈,DSP系统的存储空间的分配;同时,配合DSP及ISA的访问时序,实现了对双口RAM和ISA总线的地址译码及读写控制,以完成DSP与ISA之... 介绍了FPGA器件在高速高精运动控制系统中的应用。在该系统中通过FPGA器件实现了对直线电机各轴位置的精确反馈,DSP系统的存储空间的分配;同时,配合DSP及ISA的访问时序,实现了对双口RAM和ISA总线的地址译码及读写控制,以完成DSP与ISA之间的数据交换。通过对FPGA器件的使用,简化了系统设计,提高了系统的性能。 展开更多
关键词 FPGA 高速高精运动 控制系统
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高精直线滑台的设计和控制 被引量:2
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作者 王彦峰 吴希让 《精密制造与自动化》 2002年第1期22-26,共5页
高精机床需要高精滑台.文中介绍一种定位精度高达16nm的直线工作台设计。该工作台用钢制造,质量为100kg,用三个静压轴承全浮动支承。工作运动长度220mm,具有甚高的刚性。该滑台使用磨擦传动致动器,直线轴向最大平移速度10mm/s。使用闭... 高精机床需要高精滑台.文中介绍一种定位精度高达16nm的直线工作台设计。该工作台用钢制造,质量为100kg,用三个静压轴承全浮动支承。工作运动长度220mm,具有甚高的刚性。该滑台使用磨擦传动致动器,直线轴向最大平移速度10mm/s。使用闭环伺服控制,使用模控制器门(IMC),自动补偿未建模的机械性能。也可使用比例积分微分控制器(PIDC)对直线滑台进行控制。控制方法中测量时使用激光干涉仪和光学直线编码器,保证使滑台得到甚高的定位精度。 展开更多
关键词 高精运动 摩擦传动 内模控制 数字控制 机床 直线滑台 设计 超精密加工 定位精度
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步进扫描投影光刻机同步机制研究 被引量:9
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作者 杨亮亮 周云飞 +1 位作者 潘海鸿 罗福源 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期20-23,43,共5页
分析了步进扫描投影光刻机的同步运动过程,将各个分系统分为同步主系统和同步从系统,采用串行同步总线实现了同步主系统的状态发布;分析了分系统与自身数据采集系统的同步通信,采用高速串行传输链路实现了分系统与远程数据采集系统的数... 分析了步进扫描投影光刻机的同步运动过程,将各个分系统分为同步主系统和同步从系统,采用串行同步总线实现了同步主系统的状态发布;分析了分系统与自身数据采集系统的同步通信,采用高速串行传输链路实现了分系统与远程数据采集系统的数据采集与通信;搭建了同步实验平台,对步进扫描投影光刻机的同步机制进行了验证。实验证明该平台稳定可靠,满足系统同步性能要求和工程要求。 展开更多
关键词 步进扫描投影光刻机 同步控制 状态同步 高速高精运动控制
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The practical significance of Outward Bound in colleges
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作者 Guo Zhen 《International Journal of Technology Management》 2013年第4期83-85,共3页
Outward Bound in colleges have far-reaching value and significance. Outward Bound activities in favor of school to further implement the national education policy, to promote the implementation of the Sunshine Sports ... Outward Bound in colleges have far-reaching value and significance. Outward Bound activities in favor of school to further implement the national education policy, to promote the implementation of the Sunshine Sports to promote campus spiritual civilization, to broaden the space of Physical Education; same time it is also beneficial to develop students 'interest in sport, develop students' teamwork, to promote the physical and mental health of students, improve students' social adaptability. To expand the training to maximize the function of colleges and universities, but also in the education sector especially sports workers continue to work hard, make a greater contribution to the development of universities and students. 展开更多
关键词 Outward Bound COLLEGES Practical significance
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High Precision Motion Control of Hybrid Five-Bar Mechanism with an Intelligent Control
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作者 张珂 王生泽 《Journal of Donghua University(English Edition)》 EI CAS 2009年第3期275-278,共4页
Hybrid mecihanism is a new type of planar controllable mechanism. Position control acouracy of system determines the output aconracy of the mechanism. In order to achieve the desired high acowacy, nonlinear factors as... Hybrid mecihanism is a new type of planar controllable mechanism. Position control acouracy of system determines the output aconracy of the mechanism. In order to achieve the desired high acowacy, nonlinear factors as friction nmst be accurately compensated in the real-time servo control algoritinn. In this paper, the model of a hybrid five-bar mechanism is introduced. In terms of the characteristics of the hybrid mechanism, a hybrid intelligent control algorithm based on proportional-integral-derivative (PID) control and cerebellar model articulation control techniques was presented and used to perform control of hybrid five-bar mechanism for the lust time. The sinmulation results show that the hybrid control method can improve the control effect remarkably, compared with the traditional PID control strategy. 展开更多
关键词 intelligent control systems h yybrid mechanism neural network proportional-integral-derivative (PID) control
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