高纯三氟化氮：“国家重点新产品”榜上有名

日前，经科学技术部、商务部、国家质量监督检验检疫总局、国家环境保护总局等部门评审，718研究所研制生产的高纯三氟化氮已列入“国家重点新产品”项目。

三氟化氮高纯电子气体专利分析

高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性,蚀刻时在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面大量运用。文章通过对高纯三氟化氮进行分析,希望给相关工作人员带来一定的借鉴。