半导体工业使用的高纯化学药品

本文介绍了当今国际上高纯化学药品、材料及其发展动态，内容包括初期情况，SEMI技术条件、化学药品的现状、检测设备、专用产品和展望，最后简述了高纯工艺材料正在发生的革命，21世纪将开创材料和化学药品的新纪元。