半导体工业用高纯度气体与化学品的应用

1前言本文将就高纯度材料中具关键代表性之高纯度气体与化学品在半导体制程中的相关应用作一概略性的介绍。气体和化学品与超纯水类似,同为半导体制程中不可或缺之高纯度流体原料。气体和化学药品合计约占半导体材料成本之1/3(其余为硅芯片,光阻,溅镀靶等)。

戈尔推出高性能过滤芯产品

最近，戈尔公司推出了高性能过滤芯系列产品，可帮助半导体和其他微电子产业提升高纯度化学品的过滤处理，能改善产品质量、提高产能并且降低过滤总成本。

GORE 滤芯重新定义过滤性能

W.L. Gore ＆ Associates （Far East）, Ltd （Taiwan Branch）戈尔（戈尔工业品贸易上海有限公司）过滤芯可用于半导体、晶圆、液晶显示器、硬盘和其他微电子产品制造中使用的超纯水、去离了水和高纯度化学品，显著提高制程效率并降低过滤总成本。