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超纯气体用具有１００％Ｃr2Ｏ层不锈钢管的开发
1
作者
杨立志
《太钢译文》
2000年第4期59-62,共4页
关键词
半导体生产设备
高纯气体管道
不锈钢管
原文传递
题名
超纯气体用具有１００％Ｃr2Ｏ层不锈钢管的开发
1
作者
杨立志
出处
《太钢译文》
2000年第4期59-62,共4页
关键词
半导体生产设备
高纯气体管道
不锈钢管
分类号
TN305.97 [电子电信—物理电子学]
TG142.71 [金属学及工艺—金属材料]
原文传递
题名
作者
出处
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1
超纯气体用具有１００％Ｃr2Ｏ层不锈钢管的开发
杨立志
《太钢译文》
2000
0
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